25MW 太阳能电池工艺流程清单序号工序流程所 用 设备设备性能所 用 设 备 数量总 价 （ 万元）建议进口设备特点参考价国产设备特点参考价1制绒制绒台自 动 化 程 度高，但对硅片外型尺寸要求高，也并不太适用300 万1． 全自动：对硅 片 外 型 尺寸要求高 国内 部 分 厂 家采纳2． 手动：对硅片 外 型 尺 寸要 求 不 高 ，价 格 便 宜 ，但 人 为 因 素对 产 品 质 量有影响130 万60 万1 套130国产自动2扩 散 ( 掺杂）扩散炉无需进口600 万设备性能稳定，已完全取代进口.100 万三台300国产3刻蚀（去刻蚀机无需进口80 万设备性能稳定比20 万四台80国产周边杂质)国外设备好，已完全取代进口。4酸洗（去磷硅玻璃)酸洗台自动化程度高,但对硅片外型尺寸要求高，也并不太适用1． 全自动:对硅片 外 型 尺 寸要求高 国内部 分 厂 家 采纳2．手动：对硅片外型尺寸要求不 高 ， 价 格 便宜。60 万15 万一套60国产自动5镀膜手 动 喷镀 台 或APCVD或PECVDAPCVD镀膜， 500 万1400 万APCVD 镀 膜 国内没工业化生产设备。手动喷膜:自动化程 低 ， 有 色 差（ 人 为 因 素 干扰），但价格便宜15 万一台500进口 APCVD或 PECVD 6印背场网印机全自动：自动化程度高，但对硅片外型尺寸要求高，印刷稳定半自动:人工装120 万40 万全自动国内没有半自动：人工装卸片，能满足要求18 万二套240进口卸片，印刷稳定7烘干烘干炉设备简单无需进口50 万设备性能稳定比国外设备好，已完全取代进口。12 万二台24国产8印背电极网印机全自动：自动化程度高,但对硅片外型尺寸要求高，印刷稳定半自动：人工装卸片,印刷稳定120 万40 万全自动国内没有半自动：人工装卸片，能满足要求18 万二套240进口9烘干烘干炉设备简单无需进口50 万设备性能稳定比国外设备好，已完全取代进口。12 万二台24国产10印栅极网印机全自动：自动化程度高，但对硅片外型尺寸要求高,印刷稳定半自动:人工装卸片，印刷稳定120 万40 万全自动国内没有半自动:人工装卸片,能满足要求18 万二套240进口11烧结烧结炉自 动 化 程 度200 万设备性能接近国45 万二套90国产一套,进高，性能稳定 外设备,已有部分厂家使用，较果也好,价格便宜。口一套12分检测试台全自动：全自动：自动化程度高，性能稳定，但对硅片外型尺寸要求高手动：性能稳定200 万30全自动：国内没有手动：性能不太稳 定 , 但 价 格 便宜。18 万一套350进口
