第一章修理操作前的各项准备工作1。1 修理操作的先决条件1。2 使用工具第二章照明系统修理程序2。1 超高压汞灯电源异常2。2 照明均匀性异常和曝光功率降低第三章硅片传输系统的修理程序3.1 硅片传输系统的真空异常3.2OF 检测失灵3.3 预对准工作异常3.4 上下片臂定位不良(以上全部维修程序请参考微高公司提供的维修手册)第一章修理操作前的各项准备工作1.1 修理操作的先决条件 能进行操作和精读检验 能够使用示波器 照度计等测量仪器注意事件：抽出电路板时,请先关断电源 拿起电路板时请勿用手指接触链接点 打开或关断控制单元电源时，先将控制计算机正确关闭 对光学系统进行清洁处理时，请务必戴上干净手套1.2 使用工具使用工具一览表工具备注硅片镊子示波器需用具有两路以上输入，频带尽可能宽电路板调整用转插板清洁处理用布干净手套或指套工业用显微镜水平仪分辨率达到 2 分注射器数字万用表测试掩模版塑料棒卷绕清洁用纸，作为棉球棒使用柔光照明灯六角起子,调整起子，十字起子需符合操作对象的螺栓螺母尺寸电位器调整起子专用起子消耗品一览表消耗品备注丙酮乙醇清洁用纸润滑脂PL—035润滑油Aero—shell Fluidl2异丙醇（IPA）使用各种工具时,请注意以下事项:要参照使用说明书对示波器及时进行探测头校准，保持其精读,尤其在更换探头时，请务必加以校准。松开或上紧螺栓 螺母之类机件时，请使用尺寸合适的工具，且施力恰当，以免损坏机器。调整电位器，请注意方向，本文中标有 CW 时，按顺时针方向旋转，标 CWW,按反时针方向旋转。第二章照明系统修理程序凡涉及机械 电气 光学 压力 流量 位置等调整时，请专业人士协助实施。否则后果自负。2。1 超高压汞灯电源异常程序 1：超高压汞灯电源操作面板的检验对外围室（净化室）前面的操作面板进行如下的检测：电源开关是否打开？触发开关是否打开？报警灯是否亮？程序 2：超高压汞灯控制箱的检验.对外室上面的超高压汞灯控制箱进行如下检验:打开电源开关 电源指示灯是否发亮 风扇是否转动程序 3：AC200V 系统的检验打开外围室左侧后部的电控箱门，检验超高压汞灯电源的短路器是否处于通路状态。程序 4：恒温器的更换方法工具：六角起子套件 十字起子套件关闭操作面板上的电源开关,然后再关闭汞灯控制装置内的电源开关。约等 30 分钟，灯罩内达到足够冷冻状态.松开右侧 1 个十字螺钉 灯罩左侧两个十字螺钉，取下灯罩盖。取下灯罩的盖子，用六角形起子将位...
