大小孔偏调整作业流程一、 机台水平确认：1.1 静态水平：之要求±0.02mm/m1.2 动态水平:一般装机用之空跑程序设定 UP，30mm DN，24mm Up 及 Dn 的设定相差 6mm 即可。F(进刀速):9m/minU（退刀速）：25.4m/min1。3 依下列顺序将水平螺丝锁紧1→2→3→4→5→6→7→8→9→10锁紧后以千分表量测每点的震动数据，建议调整震动于 20um 以下.日立标准(10um)二、 Z 轴相关精度点检2。1 压力脚之大小轴衬请使用原厂铜轴衬(强烈要求）。2.2 Z 轴原点之确认针尖到轴衬底端 1mm±0.1mm(0.9～1。1mm 相当重要)。2。3 SPINDLE 高度确认。2.4φ200 之精度要求±50um （最佳状况态调整于±30um 以内)2.5 确认压力脚 Cylinder 确认是否耗损。将压力脚拆下后按 PF 确认左右 Cylinder 上下动作是否一致，如没有可调整 Cylinder 进出 air 量，如调整后仍不行则需更换左右Cylinder。2.6 确认压力脚之万向接头间隙.一般新品间隙在 30um 以内，一般的要求在 200um 以内(最佳状况 100um 以内）如超出请立即更换。2.7 压力脚平衡，左右公差±50um 以内。2。7 PV CHECK 之确认大径及小径之相关要求如下N TYPE 下降量 J,Z—45Mb、Q TYPE 下降量 J，Z-5 (确认） J,Z—15(测量)轴衬 \ 范围最小值最大值标准轴衬110(N） 150（N)小径轴衬60（N)90(N)钻针 φ0。1～0.15mm 80(N）钻针 φ0.2mm 以上 90（N）标准轴衬请调整在 130(N)左右，大厂（皆加工 BGA 板）小径轴衬请调整在 75（N)左右 ex 景硕、PPT，代加工厂可调整在 85（N）左右。适用式样参考值容许值单轴机90Hpa± 15％六轴机100Hpa± 15％集尘流量就以上参考值调整就可以Ps.1。请注意在测量时需将未测量轴数的轴衬用胶带贴起来（模拟加工时状态）。 2.QIC 大小径一定要用自动换针的模式切换（不可用手动模式切换),因为会有压差的问题.（机台后方电磁阀不会自动切换，压力就会无法正确调整甚至无法调整）2.8 确认轴衬压痕,请以覆写纸方式量测。将压力脚放下，Z 轴下降 J，Z—60.5mm,看压出的图形是否平均受力，大小径都要作，如压出图形有受力不平均时请以砂纸将轴衬修正平整，最佳修正方式将 Z 轴下降适当的压在砂纸上，在可移动砂纸但仍有阻力的状况下进行修正，之后再测量一遍直到受力平均为止。2。9 Z 轴螺杆间隙 10um 内请以千分表架量鞍部，如超出甚多建议更换 Z 轴螺杆。Ps。请下降 Z 轴到加工位置测量。三、 OIL UNIT...
