第1页共19页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第1页共19页无尘车间管理制度(某世界500强半导体企业内部规范-仅供参考)目录1
0无尘车间管理的目的2
0无尘车间管理的原则3
0适用范围4
0管理程序5.1无尘车间施工管理制度5.2无尘车间洁净度定期检测制度/测量标准5.3无尘车间人员管理制度第2页共19页第1页共19页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第2页共19页5.4无尘车间洁净服管理制度5.5无尘车间物流/洁净室内设备及工器具管理制度5.6无尘车间清洁、清扫和灭菌管理5.7无尘车间洁净室安全管理6
0版本更改记录1.0无尘车间管理的目的半导体产品生产过程对车间有明确的洁净要求,为了满足生产工艺需要、保证产品质量、安全生产,必须对洁净室的环境、人员、物料、设备、生产过程等进行控制
2.0无尘车间管理的原则2
1进入洁净室的管理,包括对洁净室工作人员进入、物料进入、各类设备的搬入以及相关的设备、管线的维护管理,应做到不得将微粒、微生物带入洁净室
2操作管理技术,对洁净室内人员用洁净工作服的制作、穿着和清洗;操作人员的移动和动作;室内设备及装修材料的选择和清扫、灭茵等,尽可能地减少、防止洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖等
3严格各类设备、设施的维护管理,制定相应的操作规程,保证各类设备、设施按要求正常运转,包括净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具(工装夹具)等
以确保产品生产工艺要求和空气洁净度等级
4清扫、灭菌管理,对洁净室内的各类设备、设施的清扫、灭茵以及方法、周期和检查作明确的规定,防止、捎除洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖
第3页共19页第2页共19页编号:时间:2021年x月x日书山有路勤为径,学海无涯苦作舟页码:第3页共19页2
5洁净室环境控制