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特气系统控制特气系统控制20052005年年99月月2020日日■■特气系统控制特气系统控制特气系统控制气柜VMB/VMPPLC盘面电磁阀气动阀GASCYLINDERSENSORS易燃易爆：SIH4/H4/B2H6/ASH3/PH3无毒：AR/HE/CF4/N2O/C2F6/SF6/O2-HE有毒：CL2/HBR/NH3/NF3/SIH2CL2/BCL3设备LAM易燃易爆：SIH4/H4/B2H6/ASH3/PH3有毒：CL2/HBR/NH3/NF3/SIH2CL2/BCL3无毒：AR/HE/CF4/N2O/C2F6/SF6/O2-HEAMEMTCPMAMS101MRCCVDAPWJDFUREPSLIMP■■气柜气柜组成组成::1.1.电控电控2.COMPUTER2.COMPUTER3.GASPANEL3.GASPANEL1.1.电气控制电气控制STATUSLED’SLOCALSDSTATUSLED’SLOCALSDRED,YELLOY,GREENSWITCHRED,YELLOY,GREENSWITCH电磁阀SENSORS2.2.COMPUTERCOMPUTERkoyokoyophilipsphilips3.3.盘面盘面((一一))双双盘盘面面单盘面示意图单盘面示意图(二)GASFLOWSCHEMATIC-DUALGSMWITHPURGEGASMANIFOLD一一.Semi-Gas.Semi-Gas全自动气柜更换钢瓶操作步骤全自动气柜更换钢瓶操作步骤::如果是液态类气体需要输入“净重”确认。如果是液态类气体需要输入“净重”确认。11接通接通220V220V电源，打开“电源，打开“EMO”EMO”紧急开关，进入盘面画面。紧急开关，进入盘面画面。22输入输入passwordpassword，按确认。，按确认。3L3L盘面进入“盘面进入“Inshutdown”Inshutdown”按“按“commands”commands”菜单。菜单。44选择“选择“terminatepurge”terminatepurge”按“按“Yes”Yes”。。55选择“选择“selectpurge”selectpurge”按“按“Cylinderchange”Cylinderchange”，按“，按“Yes”Yes”，按“，按“ACK”ACK”确认，进入更确认，进入更换钢瓶的过程。换钢瓶的过程。6L-Cylindershutofftest6L-Cylindershutofftest，执行，执行processGasremovalprocessGasremoval置换。置换。77更换钢瓶前更换钢瓶前Pre-purgePre-purge前吹扫，执行完循环次数。前吹扫，执行完循环次数。8Cylinderchange8Cylinderchange更换钢瓶，按“更换钢瓶，按“ACK”ACK”确认。确认。9ProcessGasremoval9ProcessGasremoval执行工艺气体置换。执行工艺气体置换。10Autoleaktest10Autoleaktest自动检漏测试自动检漏测试11Manualleaktest11Manualleaktest手动检漏测试，按“手动检漏测试，按“ACK”ACK”确认。确认。12LeakRepair12LeakRepair泄漏维护，按“泄漏维护，按“ACK”ACK”确认。确认。13RepairLeaktest13RepairLeaktest维护后泄漏测试，按“维护后泄漏测试，按“ACK”ACK”确认。确认。1414更换钢瓶后更换钢瓶后Post-purgePost-purge后吹扫，执行完循环次数。后吹扫，执行完循环次数。15Regulator15Regulator调压阀调压阀shutoffshutoff及测试。及测试。1616缓慢完全打开钢瓶手动阀，回缓慢完全打开钢瓶手动阀，回1/41/4圈，进入钢瓶压力测试。圈，进入钢瓶压力测试。1717缓慢调节缓慢调节RegulatorRegulator调压阀的二次压力至供气压力。调压阀的二次压力至供气压力。1818按“按“serviceready”serviceready”进入钢瓶供气或备用。进入钢瓶供气或备用。44..更换钢瓶操作（依照更换钢瓶操作（依照LL钢瓶为例）钢瓶为例）11选择需要更换的钢瓶，按“更换钢瓶”后按“确认”。选择需要更换的钢瓶，按“更换钢瓶”后按“确认”。22关闭更换钢瓶的钢瓶手动阀，按“下一步”。关闭更换钢瓶的钢瓶手动阀，按“下一步”。33确认钢瓶手动阀已经关闭，按“确认”。确认钢瓶手动阀已经关闭，按“确认”。44进行低压释放。进行低压释放。55进行预吹扫，完成设置的循环次数。进行预吹扫，完成设置的循环次数。66钢瓶检测结束报警，按“钢瓶检测结束报警，按“close”close”，按“下一步”。，按“下一步”。77更换钢瓶，结束后按“下一步”。更换钢瓶，结束后按“下一步”。88进行钢瓶进行钢瓶FittingFitting测漏，正常后按“确认”。测漏，正常后按“确认”。99进行后吹扫，完成循环次数。进行后吹扫，完成循环次数。1010钢瓶检测结束，按“钢瓶检测结束，按“close”close”。。1111如果是液态类气体需要输入皮重和切换压力“净重”确认。如果是液态类气体需要输入皮重和切换压力“净重”确认。1212缓慢完全打开钢瓶手动阀，回缓...