微纳加工技术实验指导书董连和孙艳军长春理工大学光电工程学院二○○八年十月目录实验一刻划刀具制作与研磨………………………………………1实验二分划板刻制与检验…………………………………………4实验三圆光栅紫外光刻……………………………………………8实验四光学度盘检验………………………………………………11实验五圆光栅照相复制……………………………………………13实验六衍射光栅刻划………………………………………………16实验七光学标准尺刻划……………………………………………18实验八八台阶二元光学元件微细光刻……………………………202实验一刻划刀具制作与研磨一．实验目的刻划刀具材料,形状和研磨的质量是决定刻划刀性能的基本因素。通过实际操作，了解刻划刀具的种类、材料、几何参数及用途，掌握专用工装的设计及刀具研磨的技巧。二.实验原理以靠模作为依托，刀坯一端与磨具相对运动产生机械磨削，实现所需要的形状和结构尺寸。三．实验工具及材料：15J读数显微镜（100X）一台XTT实体显微镜（60X）一台粗磨油石（180目）一块精磨油石（W20）一块抛光油石（
