多晶硅生产物料平衡技术附件中文VIP免费

-1-技术附件目录附件1．————————设计基础附件2．————————工艺描述附件3．————————工艺要求附件4．————————工作范围及交付进度附件5．————————设计范围及主体设备附件6．————————性能保证值附件7．————————公用工程条件附件8．————————性能考核附件9．————————技术服务-2-附件1设计基础1.1还原尾气的总量及组份(3000t/a)1.1.1按物料平衡计算：1.1.2按物料平衡扩大20％计算：序号物质T/aT/hKmol/aKmol/hNm3/hV%1H214677.631.9737338.8×103986.422094.479.08%2SiHCl3190413.7125.5931405.3×103188.884246.815.20%3SiCl450177.156.744295.2×10339.67888.63.18%4HCl8416.91.131230.6×10331.00694.42.48%5SiH2Cl2555.320.07465.5×1030.73916.440.06%合计264240.7135.51569275.4×1031246.6927940.64100.00%1.1.3还原尾气回收系统入口参数：温度：≤45℃压力：≥3kg/cm2(A)序号物质T/aT/hKmol/aKmol/hNm3/hV%1H212231.361.6446115.7×1038221841279.08%2SiHCl3158678.0921.32771171.1×103157.4353915.20%3SiCl441814.295.6202246.0×10333.06740.53.18%4HCl7015.30.9429192.2×10325.83578.672.48%5SiH2Cl2462.770.06224.6×1030.61613.70.06%合计220201.8129.5977729.6×1031038.90623283.87100.00%-3-1.2氢化尾气的总量及组份(3000t/a)1.2.1按物料平衡计算序号物质T/aT/hKmol/aKmol/hNm3/hV%1H283181.1184159×1035591252270.6%2SiHCl3356234.788263×10335.37924.5%3SiCl420435727.4671202×103161.6361920.4%4HCl96311.294263×10335.37924.5%5SiH2Cl2合计25792934.6675887×103791.217725100％1.2.2按物料平衡扩大20％计算序号物质T/aT/hKmol/aKmol/hNm3/hV%1H29981.61.3424990.8×103670.8115026.170.6%2SiHCl342747.65.746315.5×10342.40949.84.5%3SiCl4245228.432.9611442.5×103193.894343.120.4%4HCl11557.21.553315.5×10342.40949.84.5%5SiH2Cl2合计309514.841.6027064.3×103949.5021268.8100％1.2.3氢化尾气回收系统入口参数：温度：≤45℃压力：≥3kg/cm2(A)-4-1.3合成尾气的总量及组份(3000t/a)1.3.1按物料平衡计算序号物质T/akg/hKmol/aKmol/hNm3/hV%1H251669.35258×10334.68776.7748.69%2SiHCl3293723947.85216.8×10329.14652.6341.08%3SiCl42876386.5616.9×1032.2750.933.21%4HCl772103.7621.2×1032.8463.684.01%5SiH2Cl21580212.3715.6×1032.1047.103.01%合计351164719.89528.5×10371.031591.11100.00%1.3.2按物料平衡扩大20％计算序号物质T/akg/hKmol/aKmol/hNm3/hV%1H2619.283.23309.6×10341.61932.1348.69%2SiHCl335246.44737.42260.1×10334.96783.1641.08%3SiCl43451.2463.8720.3×1032.7361.123.21%4HCl926.4124.5225.4×1033.4176.424.01%5SiH2Cl21896254.8418.8×1032.5256.523.01%合计42139.25663.88634.2×10385.231909.35100.00%1.3.3合成尾气回收系统入口参数：温度：≤45℃压力：≥2.5kg/cm2(A)-5-附件2工艺描述尾气回收系统接收反应炉排出的尾气，并把它们分离成为氯硅烷混合液、HCL和H2。从反应炉排出的热的尾气在管壳式换热器内冷却，将气态氯硅烷冷凝为氯硅烷液体。剩余的气体送入压缩机。压缩气体冷却后进入HCL吸收塔。在此处HCL气体被低温液态氯硅烷加压吸收。（压缩机为2级往复式压缩机，设计压力能够满足将HCL和H2分离回收。）氯硅烷富液被送到HCL解析塔，在此HCL以液态形式与H2分离回收。从HCL加压吸收塔出来的氢气被送到活性碳吸附柱，除去剩余的杂质。洁净的氢气将被回收用于还原炉中。碳吸附柱通过热再生的方式工作。-6-附件3工艺要求3.1合成系统的尾气按3000t/a一套回收系统考虑；回收系统的氢压机按2台50%考虑（2×50％），设一台备用机（50％）。3.2氢化系统的尾气按1500t/a线一套回收系统考虑（即3000t/a氢化需两套回收系统）；每套回收系统的氢压机按2台50%考虑（2×50％），每套回收系统设一台备用机（50％）。3.3还原系统的尾气按1500t/a线一套回收系统考虑（即3000t/a还原需两套回收系统）；每套回收系统的氢压机按3台33%考虑（3×33％），...