1洁净空调系统讲解实例分析空調潔淨二課2•WaterSystem•AIRSystem•值班工作•心得與建議•THEENDAGENDA3•CoolingTowerSystem•ChillerSystem•PCWSystem•WarmWaterSystem•HotWaterSystemWaterSystemWaterSystemCWP1~1075HPCHP1~1050HPSCHP1~6250HP35℃28℃5℃11℃WWP1~350HPSWWP1~3150HP28℃35℃RCAMUACDAMUACoolingTower1~101~8A/B40HP9~10A/B60HP冷卻水迴路冰水迴路CONDENSEREVAPORATORHEATRECOVERYChiller3,6,9熱回收冰機1stPCW1~575Hp*3100Hp*22ndPCW1~3125Hp*3製程冷卻水槽15℃19℃4.5Kg/cm22.2Kg/cm25Kg/cm23Kg/cm25Kg/cm25Kg/cm23Kg/cm25Kg/cm24.5Kg/cm2FABII5.5Kg/cm28Kg/cm26Kg/cm2△2Kg/cm2△2.0Kg/cm24Kg/cm2溫水迴路5COOLINGTOWER•廢熱的最終散發點。即除去冰機運轉時產生之熱能及FAB內所產生之熱能。•利用液體薄膜表面蒸發汽化，吸收底層液體熱量，降低冷卻水溫度。•回水溫度(約35)℃會因工廠負載而有所改變，因此風扇轉速會依據出冷卻水出口溫度(28)℃為設定點，利用變頻器加、減風扇速度。•二廠共10座，位於CUB樓頂。1~8(A/B)風扇為40HP，9~10(A/B)風扇為60HP。6COOLINGTOWER•水份散發後，補水水源係利用RO回收水及MUA冷凝回收水。若不足加入自來水。•補水啟動液位:42cm，停止液位:52cm。•由CUB地下室300T*2地下室冷卻水槽。•電導度大於1500μs/cm，由回水管(7A旁)進行排水。•排水同時進行補水，電導度降至1350μs/cm停止排水。•加藥。因水塔是對大氣開放，因陽光照射及接觸大氣中細菌，易生長藻類及細菌。•加藥控制是利用定時器，自動啟動加藥Pump，並設定Pump每分鐘輸出量，達到藥量控制。•藥品種類:TKC-3603(水垢腐蝕抑制劑)、TKC-640(殺菌劑)、漂白水(滅藻劑)。7WaterSystemCWP1~1075HPCHP1~1050HPSCHP1~6250HP35℃28℃5℃11℃WWP1~350HPSWWP1~3150HP28℃35℃RCAMUACDAMUACoolingTower1~101~8A/B40HP9~10A/B60HP冷卻水迴路冰水迴路CONDENSEREVAPORATORHEATRECOVERYChiller3,6,9熱回收冰機1stPCW1~575Hp*3100Hp*22ndPCW1~3125Hp*3製程冷卻水槽15℃19℃4.5Kg/cm22.2Kg/cm25Kg/cm23Kg/cm25Kg/cm25Kg/cm23Kg/cm25Kg/cm24.5Kg/cm2FABII5.5Kg/cm28Kg/cm26Kg/cm2△2Kg/cm2△2.0Kg/cm24Kg/cm2溫水迴路8CHILLERSYSTEM•利用冷媒由蒸發器，汽化(吸熱)、經壓縮機，壓縮(放熱)提供5℃冰水。熱力學第一定律當有熱能（ΔQ）由於溫差的原因，由外界傳入一物體，通常會有溫度升高（粒子平均動能增加）且體積膨脹（對外界做功ΔW）的情形。我們把物體內所有粒子的總機械能稱為該物體的內能（U），則由能量守恒可得：ΔQ＝ΔU＋ΔW即系統吸收的熱能＝系統內能增加量＋系統對外做功值。VP等溫膨脹Q<0等溫壓縮Q>09CHILLERSYSTEM•冰水供給:MUA冰水管排、RCA溫控水排、PCW熱交換器及CDASystem。•溫水供給:MUA熱水管排。•冰水系統共1~10號冰機，其中3、6、9為熱回收冰機，可提供約35℃溫水。•ChillerWaterPump(CHP)1~10號，50HP。供應5Kg/cm2冰水進入冰機。•SecondChillerWaterPump(SCHP)1~10號，250HP。供應5Kg/cm2冰水至MUA、RCA、CDA及PCW熱交換器及CDASystem。10CHILLERSYSTEM•冰機啟動a.與電力課確定用電狀況。b.確定閥件是否開啟。c.啟動冷卻水pump，確定壓力(約4Kg)是否建立。d.啟動冰水pump，確定壓力(約5Kg)是否建立。e.檢查油槽液位(視窗一半以下)及溫度(140~145)℉。f.啟動冰機。調整SCHP(手動部分)頻率使平衡運轉。•冰機啟動時機a.運轉冰機負載皆大於90%。b.二次冰水pump接近60Hz運轉(冰水主管路流量增加時)。c.預計外氣溫度將持續升高。11CHILLERSYSTEM．冰機關閉a.與電力課確定用電狀況。b.按下冰機停止鍵(紅色)，注意不可連續壓二次(緊急停止)。c.等候關機後冷媒循環時間結束。d.關閉冷卻水pump。e.關閉冰水pump。f.調整SCHP(手動部分)頻率使平衡運轉。．冰機關閉時機a.運轉冰機負載總和%/冰機運轉數目小於65%。b.二次冰水pump接近25Hz運轉(冰水主管路流量降低時)。c.預計外界氣溫將持續下降。12WaterSystemCWP1~1075HPCHP1~1050HPSCHP1~6250HP35℃28℃5℃11℃WWP1~350HPSWWP1~3150HP28℃35℃RCAMUACDAMUACoolingTower1~101~8A/B40HP9~10A/B60H...
