1洁净空调系统讲解实例分析空調潔淨二課2•WaterSystem•AIRSystem•值班工作•心得與建議•THEENDAGENDA3•CoolingTowerSystem•ChillerSystem•PCWSystem•WarmWaterSystem•HotWaterSystemWaterSystemWaterSystemCWP1~1075HPCHP1~1050HPSCHP1~6250HP35℃28℃5℃11℃WWP1~350HPSWWP1~3150HP28℃35℃RCAMUACDAMUACoolingTower1~101~8A/B40HP9~10A/B60HP冷卻水迴路冰水迴路CONDENSEREVAPORATORHEATRECOVERYChiller3,6,9熱回收冰機1stPCW1~575Hp*3100Hp*22ndPCW1~3125Hp*3製程冷卻水槽15℃19℃4
5Kg/cm22
2Kg/cm25Kg/cm23Kg/cm25Kg/cm25Kg/cm23Kg/cm25Kg/cm24
5Kg/cm2FABII5
5Kg/cm28Kg/cm26Kg/cm2△2Kg/cm2△2
0Kg/cm24Kg/cm2溫水迴路5COOLINGTOWER•廢熱的最終散發點
即除去冰機運轉時產生之熱能及FAB內所產生之熱能
•利用液體薄膜表面蒸發汽化,吸收底層液體熱量,降低冷卻水溫度
•回水溫度(約35)℃會因工廠負載而有所改變,因此風扇轉速會依據出冷卻水出口溫度(28)℃為設定點,利用變頻器加、減風扇速度
•二廠共10座,位於CUB樓頂
1~8(A/B)風扇為40HP,9~10(A/B)風扇為60HP
6COOLINGTOWER•水份散發後,補水水源係利用RO回收水及MUA冷凝回收水
若不足加入自來水
•補水啟動液位:42cm,停止液位:52cm
•由CUB地下室300T*2地下室