图 1.质量流量控制器结构图1. 什么是质量流量计？什么是质量流量控制器？质量流量计，即 MassFlowMeter（缩写为 MFM）,是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。质量流量控制器，即 MassFlowController（缩写为 MFC）,不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC 自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置,是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。2. 质量流量控制器的原理是什么？质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。质量流量控制器的剖面结构图见图 1。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量（无需温度压力补偿）。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大,放大后的流量检测电压与设定电压进行比较,再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源,数字电压表,设定电位器,外设、内设转换和三位阀控开关等。气体质量流量控制器与流量显示仪连接后的工作原理如图 2 所示。3. 怎么理解质量流量计/质量流量控制器的流量单位？气体质量流量单位一般以 seem（StandardCubicCentimeterperMinute，每分钟标准毫升）和 slm（StandardLiterperMinute，每分钟标准升）来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为:气压—101325Pa（760mmHg）;温度一 0°C（273.15K）。这是这种仪表和其它流量计的重要区另 U，也是 seem、slm 不同于 mL/min、L/min 之处。对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯、便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量（如 g/min），这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数,可以方便地查到，因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干 slm)即可实现。所以说，在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。需要注意的是，被全世界质量流量控制器厂商共同采用的 sccm/slm 这种质量流量单位，不符合国内计量标准的常用的质量流量的国际单位(Kg/min),但是它符合国际半导体协会流量调节传感器分流器放大控制电I流量显示10...
