一〉 流程: 磨板→贴膜→曝光→显影一、磨板 1、表面处理 除去铜表面氧化物及其它污染物
硫酸槽配制 H2SO4 1-3%(V/V)
酸洗不低于 10S
2、 测试磨痕宽度 控制范围 10-15mm,磨痕超过 15mm 会出现椭圆孔或孔口边沿无铜,一般控制 10-12mm 为宜
3、水磨试验 每日测试水膜破裂时间≥15s,试验表明,在相同条件下磨痕宽度与水膜破裂时间成正比
4、磨板控制 传送速度 1
5M/min,间隔 1",水压 1
5bar,干燥温度70-90℃
二、干膜房 1、干膜房洁净度 10000 级以上
2、温度控制 20-24°C,超出此温度范围容易引起菲林变形
3、湿度控制 60-70%,超出此温度范围也容易引起菲林变形
4、工作者每次进入干膜房必须穿着防尘服及防尘靴风淋 15-20s
三、贴膜 1、贴膜参数控制 a
温度 100-120°C,精细线路控制 115-120°C,一般线路控制 105-110°C,粗线路控制 100-105°C
速度<3M/min
压力 30-60Psi,一般控制 40Psi 左右
2、注意事项 a
贴膜时注意板面温度应保持 38-40°C,冷板贴膜会影响干膜与板面的粘接性
贴装前须检查板面是否有杂物、板边是否光滑等,若板边毛刺过大会划伤贴膜胶辊,影响使用寿命
在气压不变情况下,温度较高时可适当加快传送速度,较低时可适当减慢传送速度,否则会出现皱 膜或贴膜不牢,图形电镀时易产生渗镀
切削干膜(手动贴膜机)时用力均匀,保持切边整齐,否则显影后出现菲林碎等缺陷
贴膜后须冷却至室温后方可进行曝光
四、曝光 1、光能量a
光能量(曝光灯管 5000W)上、下灯控制 40-100 毫焦/平方厘米,用下晒架测试上灯,上晒架测试 下灯