页脚 第一章 修理操作前的各项准备工作 1
1 修理操作的先决条件 1
2 使用工具 第二章 照明系统修理程序 2
1 超高压汞灯电源异常 2
2 照明均匀性异常和曝光功率降低 第三章 硅片传输系统的修理程序 3
1 硅片传输系统的真空异常 3
2 OF 检测失灵 3
3 预对准工作异常 3
4 上下片臂定位不良 （以上全部维修程序请参考微高公司提供的维修手册） 第一章 修理操作前的各项准备工作 1
1 修理操作的先决条件 能进行操作和精读检验 能够使用示波器 照度计等测量仪器 注意事件：抽出电路板时，请先关断电源 拿起电路板时请勿用手指接触点 打开或关断控制单元电源时，先将控制计算机正确关闭 对光学系统进行清洁处理时，请务必戴上洁净手套 1
2 使用工具 使用工具一览表 页脚 工具 备注 硅片镊子 示波器 需用具有两路以上输入，频带尽可能宽 电路板调整用转插板 清洁处理用布 洁净手套或指套 工业用显微镜 水平仪 分辨率达到2 分 注射器 数字万用表 测试掩模版 塑料棒 卷绕清洁用纸，作为棉球棒使用 柔光照明灯 六角起子，调整起子，十字起子 需符合操作对象的螺栓螺母尺寸 电位器调整起子 专用起子 消耗品一览表 消耗品 备注 丙酮 乙醇 清洁用纸 润滑脂 PL-035 页脚 润滑油 Aero-shell Fluidl2 异丙醇（IPA） 使用各种工具时，请注意以下事项： 要参照使用说明书对示波器及时进行探测头校准，保持其精读，尤其在更换探头时，请务必加以校准
松开或上紧螺栓 螺母之类机件时，请使用尺寸合适的工具，且施力恰当，以免损坏机器
调整电位器，请注意方向，本文中标有CW 时，按顺时针方向旋转，标CWW，按反时针方向旋转
第二章 照明系统修理程序 凡涉及机械 电气 光学 压力 流量 位置等调整时，请专业人士协助实施
否则后果自负
1 超高压汞灯电源异常 程序1
