- - . - 总结资料- 一、 简答题： 1. 套准精度的定义,套准容差的定义。 大约关键尺寸的多少是套准容差. 套准精度是测量对准系统把 版图套准到硅片上图形的能力。 套准容差描述要形成图形层和前层的最大相对位移。 一般，套准容差大约是关键尺寸的三分之一。 2. 亚波长结构的光学特性。 亚波长结构的光学特性： -- 光波通过亚波长结构时，光的衍射消失，仅产生零级反射和透射，等效为薄膜，可用于抗反射元件和双折射元件； -- 采用空间连续变化的亚波长结构可获得偏振面的衍射，形成新型偏振器件； -- 表面等离子波亚波长光学 利用表面等离子体波共振（ SPR）原理：波导，小孔增强，局域增强等 4. 微电子的发展的摩尔定律是什么?何谓后摩尔定律？ 集成电路芯片的集成度每三年提高 4 倍， 而加工特征尺寸缩小倍， 这就是摩尔定律 5. 单晶、 多晶和非晶的特点各是什么？ - - . - 总结资料- 单晶： 几乎所有的原子都占据着安排良好的规则的位置，即晶格位置； ——有源器件的衬底 非晶： 如 SiO2, 原子不具有长程有序，其中的化学键，键长和方向在一定的围变化； 多晶： 是彼此间随机取向的小单晶的聚集体，在工艺过程中，小单晶的晶胞大小和取向会时常发生变化，有时在电路工作期间也发生变化。 6. 半导体是导电能力介于___导体_____和___绝缘体_____之间的物质；当受外界 光和热作用时，半导体的导电能力___明显变化______; _______往纯净的半导体中掺入某些杂质_______可以使半导体的导电能力发生数量级的变化。 7. 在光滑的金属和空气界面，为什么不能激发表面等离子体波？ 对于光滑的金属表面，因为表面等离子体波的波矢大于光波的波矢，所以不能激发表面等离子体波。 8. 磁控溅射镀膜工艺中，加磁场的主要目的是什么？ 将电子约束在靶材料表面附近，延长其在等离子体中运动的轨迹，提高与气体分子碰撞和电离的几率 9. 谐衍射光学元件的优点是什么？ 高衍射效率、优良的色散功能 、减小微细加工的难度、独特的光学功能 - - . - 总结资料- 1 0.描述曝光波长与图像分辨率的关系，提高图像分辨率，有哪些方法？ K1 is the system constant 工艺因子： 0.6～0.8 NA = 2 ro/D, 数值孔径 改进分辨率的方法 增加 NA 减小波长 减小 K1 1 1 . 什么是等离子体去胶，去胶机的目的是什么？ 氧气在强电场作用下电离产生的活性氧，使光刻胶氧化而成为可挥发的 CO...
