123-0 超 纯 水 系 统 工 艺 操 作 使 用 说 明 书 8 4 T / H M M F + U F + 2 R O + E D I + S M B 超纯水系统 (1 8 M Ω · C M 超纯水系统) 目 录 一
工 艺 流 程 ………………………………………………………………………………………………2 二
操 作 条件………………………………………………………………………………………………3 三.安全……………………………………………………………………………………………………3 四.工 艺 说 明 ………………………………………………………………………………………………3 五
系 统 设备清单…………………………………………………………………………………………9 六.单体设备操 作 说 明 ……………………………………………………………………………………11 七
安装说 明 ……………………………………………………………………………………………67 八
仪表校正与更换……………………………………………………………………………………69 九
控制说 明 ……………………………………………………………………………………………69 十.耗材及加药明 细……………………………………………………………………………………70 123-1 本 系 统 主 要 是 对 原 水 进 行 预 处 理 及 精 处 理 , 以 达 到 去 除 水 中 的 有 机 物 、无机 物 、胶体、溶解性离子、颗粒物 , 满足终端用户超纯水 水 质要 求
123-2 一 、工艺流程 根 据 用 户 原 水 水 质 要 求 , 本 系 统 所 配 工 艺 流 程 如 下 : 用 水 点 84T/H 18
CM 板 换 原 水 箱 袋 滤 器 超 滤 装 置 一级 高 压 泵