123-0 超 纯 水 系 统 工 艺 操 作 使 用 说 明 书 8 4 T / H M M F + U F + 2 R O + E D I + S M B 超纯水系统 （1 8 M Ω · C M 超纯水系统） 目 录 一. 工 艺 流 程 ………………………………………………………………………………………………2 二. 操 作 条件………………………………………………………………………………………………3 三．安全……………………………………………………………………………………………………3 四．工 艺 说 明 ………………………………………………………………………………………………3 五. 系 统 设备清单…………………………………………………………………………………………9 六．单体设备操 作 说 明 ……………………………………………………………………………………11 七. 安装说 明 ……………………………………………………………………………………………67 八. 仪表校正与更换……………………………………………………………………………………69 九. 控制说 明 ……………………………………………………………………………………………69 十．耗材及加药明 细……………………………………………………………………………………70 123-1 本 系 统 主 要 是 对 原 水 进 行 预 处 理 及 精 处 理 ， 以 达 到 去 除 水 中 的 有 机 物 、无机 物 、胶体、溶解性离子、颗粒物 ， 满足终端用户超纯水 水 质要 求。 123-2 一 、工艺流程 根 据 用 户 原 水 水 质 要 求 ， 本 系 统 所 配 工 艺 流 程 如 下 ： 用 水 点 84T/H 18.0M.CM 板 换 原 水 箱 袋 滤 器 超 滤 装 置 一级 高 压 泵 一级 RO 系 统 EDI 给 水 泵 二 级 RO 水絮 凝 剂 PH 调 节二 级 高 压 泵 二 级 RO 装阻 垢 剂 UV 杀 菌 器 EDI 装 置 纯 水 增 压 泵 0.45μ膜 滤 器 超 滤 产 水 箱 酸 /碱 /氧 化 剂 一级 RO 水系 统 进 水 氮 封 水 箱 超 滤 反 洗 泵 一级 抛 光 混 床 0.22μ膜 滤 器 多 介 质 清 洗 装 置 TOC 脱 除 器 原 水 泵 还 原 剂 浓 水 箱 多 介 质 反 洗 泵 一级 增 压 泵 软 水 补 水 泵 ...
