操作手册 LPS 1 等离子体发射源 生产商： Roth & Rau AG Gewerbering 3 D-09337 Hohenstein-Ernstthal OT Wuestenbrand Germany 1 目录 1 安全指示 „„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 3 1 .1 介绍 „„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 3 1 .2 安全标志 „„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 3 2 描述 „„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 4 2 .1 概要 „„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 4 2 .2 线型微波等离子体发射源类型 „„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 5 2 .3 线型微波等离子体的产生 „„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 6 3 技术数据 „„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 9 3 .1 概要 „„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 9 3 .2 性能 „„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 10 3 .3 电气数据 „„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 10 3 .4 连接 „„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 10 3 .4 .1 气体连接 „„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 10 3 .4 .2 水路连接 „„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 10 4 组装 „„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 11 5 设备维护 „„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 12 5 .1 石英管的拆卸 „„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 13 5 .2 沉积罩的拆卸 „„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 15 5 .3 等离子体发射源的清洗 „„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 16 5 .4 沉积罩的替换 „„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 17 5 .5 玻璃石英管的替换 „„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„...
