Pvd 工艺流程 涂层技术及工艺流程涂层技术及工艺流程涂层技术及工艺流程涂层技术及工艺流程 1.真空涂层技术的发展 真空涂层技术起步时间不长，国际上在上世纪六十年代才出现将CVD(化学气相沉积)技术应用于硬质合金刀具上。由于 该技术需在高温下进行(工艺温度高于 1000ºC)，涂层种 类 单 一 ，局 限 性 很 大 ，因 此 ，其 发展初 期 未 免 差 强 人 意 。 到 了 上世纪七 十年代末 ，开 始 出现 PVD(物 理 气相沉积) 技术，为 真空涂层开 创 了 一 个 充 满 灿 烂 前景 的新 天 地 ，之 后 在短 短 的二 、 三 十年间PVD 涂层技术得 到 迅 猛 发展，究 其 原 因 ，是 因 为其 在真空密 封 的腔 体 内 成 膜 ，几 乎 无 任 何 环 境 污 染问题，有利于环 保;因 为 其 能得 到 光亮、华贵的表面，在颜色上，成 熟的有七 彩色、 银色、 透明色、 金黄色、 黑色、 以及由金黄色到黑色之 间的任 何 一 种 颜色，可谓五彩缤纷，能够满 足装饰性 的各种 需要;又由于 PVD 技术，可以轻松得 到 其 他方法难以获得 的高硬度、 高耐磨性 的陶瓷涂层、 复合涂层，应用在工装、模具上面，可以使寿命成 倍提高，较好地 实现了 低成 本、 高收益的效果;此 外， PVD 涂层技术具有低温、 高能两个 特点，几 乎 可以在任 何 基材上成 膜 ，因 此 ，应用范围十分广阔，其发展神速也就不足为 奇。 真空涂层技术发展到 了 今天 还出现了PCVD(物 理 化学气相沉积)、 MT-CVD(中温化学气相沉积)等新 技术，各种 涂层设备、 各种 涂层工艺层出不穷，如今在这一 领域中，已呈现出百花齐放，百家争鸣的喜人 景 象。 与此 同时，我们还应该清醒地 看到 ，真空涂层技术的发展又是 严重不平衡的。由于刀具、 模具的工作环 境 极其 恶劣，对薄膜 附着力的要求，远高于装饰涂层。因 而，尽管装饰涂层的厂家已遍布各地 ，但能够生产工模涂层的厂家并不多。再加上刀具、 模具涂层售后 服务的欠缺，到 目前 为 止，国内 大 多数涂层设备厂家都不能提供完整的刀具涂层工艺技术(包括前 处理 工艺、 涂层工艺、 涂后 处理工艺、 检测技术、 涂层刀具和模具的应用技术等)，而且，它还要求工艺技术人 员，除了 精通涂层的专业知识以外，还应具有扎实的金属材料与热处理 知识、 工模涂层前 表面预...
