硅片的清洗与制绒Themanuscriptwasrevisedontheeveningof2021硅片的清洗与制绒导语：硅片在经过一系列的加工程序之后需要进行清洗，清洗的目的是要消除吸附在硅片表面的各类污染物，并制做能够减少表面太阳光反射的绒面结构（制绒），且清洗的洁净程度直接影响着电池片的成品率和可靠率
制绒是制造晶硅电池的第一道工艺，又称“表面织构化”
有效的绒面结构使得入射光在硅片表面多次反射和折射，增加了光的吸收，降低了反射率，有助于提高电池的性能
1■清洗的目的经切片、研磨、倒角、抛光等多道工序加工成的硅片，其表面已吸附了各种杂质，如颗粒、金属粒子、硅粉粉尘及有机杂质，在进行扩散前需要进行清洗，消除各类污染物，且清洗的洁净程度直接影响着电池片的成品率和可靠率
清洗主要是利用 NaOH、HF、HCL 等化学液对硅片进行腐蚀处理，完成如下的工艺：① 去除硅片表面的机械损伤层
② 对硅片的表面进行凹凸面（金字塔绒面）处理，增加光在太阳电池片表面的折射次数，利于太阳电池片对光的吸收，以达到电池片对太阳能价值的最大利用率
③ 清除表面硅酸钠、氧化物、油污以及金属离子杂质
图 1 金属杂质对电池性能的影响2
清洗的原理①HF 去除硅片表面氧化层
二「宀亠"SU'sR②HCI 去除硅片表面金属杂质：盐酸具有酸和络合剂的双重作用，氯离子能与溶解片子表面可能沾污的杂质，铝、镁等活泼金属及其它氧化物
但不能溶解铜、银、金等不活泼的金属以及二氧化硅等难溶物质
安全提示NaOH、HCI、HF 都是强腐蚀性的化学药品，其固体颗粒、溶液、蒸汽会伤害到人的皮肤、眼睛、呼吸道，所以操作人员要按照规定穿戴防护服、防护面具、防护眼镜、长袖胶皮手套
一旦有化学试剂伤害了员工的身体，马上用纯水冲洗 30 分钟，送医院就医
1■制绒的目的和原理目的：减少光的反射率，提咼短路电流（Isc），最
