PZT 陶瓷制备 一、PZT 陶瓷制备的工艺流程 压电陶瓷生产的工艺流程(以传统固相烧结为例)为: 配料→球磨→过滤、干燥→预烧→二次球磨→过滤、干燥→过筛→成型→排塑→烧结→精修→上电极→烧银→极化→测试
1、原料处理 首先,根据化学反应式配料
所用的原料大多数是金属氧化物,少数也可以是碳酸盐(预烧时可分解为氧化物)
为使生成压电陶瓷的化学反应顺利进行,要求原料细度一般不超过2μm(平均直径)
提高原料纯度有利于提高产品质量
通常使用转动球磨机或震动球磨机进行原料混合及粉碎
另外,在生产中往往还使用气流粉碎法,用高压气流的强力破碎作用,使粉料形成雾状,由于不用球石,可以避免杂质混入,且效率高
2、预烧中的反应过程 预烧过程一般需要经过四个阶段: 线性膨胀(室温—400℃) 固相反应(400—750℃) 收缩(750—850℃) 晶粒生长(800-900℃以上) 在固相反应过程中,反应可分为四个区域,如图 1[1]所示,分别对应于如下的化学过程: 区域Ⅰ:未反应; 区域Ⅱ:Pb+TiO2→PbTiO3; 区域Ⅲ:PbTiO3+PbO+ZrO2→Pb(Zr1-xTix)O3; 区域Ⅳ:Pb(Zr1-xTix)O3 系统的反应区域+PbTiO3→Pb(Zr1-x ’Tix ’)O3(x <x ’)
图1 2PbO-TiO2-ZrO2 系统的反应区域 ●—X 射线测得点;○化学分析测得点,旁边数字代表已反应的PbO 的百分数,烧结时间为零指刚到炉温的时刻;P—正交 PbO;Z—单斜 ZrO2;T—四方 TiO2;PT—四方 PbTiO3;PZT—Pb(Zr1-xTix)O3 固定保温时间 2h,改变预烧温度,随着温度的升高,在 540℃左右,进入区域Ⅱ,形成 PbTiO3;在 650℃左右,进入区域Ⅲ,TiO2 消失,Pb(Zr,Ti)O3 形成;在 710℃左右,进入区