0 拉 晶 工 艺 指 导 书 拉 晶 工 艺 指 导 书 --第 1页拉 晶 工 艺 指 导 书 --第 1页 1 一、有关说明 （一）、 晶体直径 坩埚转动（连续可调） 1 - 30 rpm 液压缸行程 加热功率 最大 140 kW - 加热电压 0 – 60 Volt - 加热电流 最大 2,300 Amp 熔化温度 最大 1,600 °C 主炉室真空泵抽速 - 滑阀泵(主泵) 大约 70 l/s - 旋片泵(副泵) 大约 15 l/s 冷态空炉子的极限真空度 ≤ 3 Pa 冷态炉子的泄漏率（压升法） 最大 0.3 Pa/min 允许工作正压 不带泵和走道的空间要求 总设备高度 外围设施 - 冷却水消耗量 最小 20 m 3/min - 冷却水压力 绝对压力 最小 1.5 kg/cm 2 最大 2.0 kg/c 冷却水回水压力 - 绝对压力 最大 1.5 kg/cm 2 - 冷却水进水温度 最小 20 °C 最大 25 °C 拉 晶 工 艺 指 导 书 --第 2页拉 晶 工 艺 指 导 书 --第 2页 2 冷却水质量 - pH 值 7 - 9 - 电阻 > 104-106 Ohm . cm - 硬度 < 8 ° d 1 - Fe +离子 < 0.1 ppm - Cl-离子 < 10 ppm 备注：冷却水必须过滤，以便过滤脏物和有机悬浮颗粒，否则可能堵塞回路和产生局部沉淀。详细 信息请参阅PW 800 943 NE 或 ND。 氩气消耗 最大 100 Sl/min - 氩气压力，绝对值 最大 2.0 kg/cm 2 - 氩气纯度 ＞99.999％ 电源 380 V + 10%, - 频率 50 Hz - 容量 大约 190 kVA - 保险 3 x 500 Amp. 备注：建议用户在厂房的电网配置中为每台设备提供单独的配电柜（盘），配电柜内至少有两个空气开关（断路器），一个用于加热电源与电网的隔离，一个用于控制柜与电网的隔离。 （二）、产品质量要求 根据客户要求进行生产。 如：1、电阻率控制范围：0.5~6Ω·cm。 2、无位错缺陷即小于等于100/cm2。 3、氧、碳含量要求：O 含量≤1.0×1018cm-3、C 含量≤5.0×1016cm-3 （三）、产品在生产周转中的标号： 1、产品牌号标示参照国家有关标准： CZ—Si—P(B)—<100>为直拉法制造 的P 型 单晶 硅 ，掺 杂 剂 为硼 ，晶 向 为100 （四 ）、工 具 拉 晶 工 艺 指 导 书 --第 3页拉 晶 工 艺 指 导 书 --第 3页 3 序号 类别 名称 用途 备注 1 工具 碳素笔 生产记录 通用 记录本 生产数据记录 企业标准 热系统周转车 热系统周转工具 自制...
