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集成电路设计中的EDA 工具应用教程 §4 工艺及器件仿真工具SILVACO-TCAD 1 4.2.6 解决方案指定命令组 在解决方案指定命令组中,我们需要使用Log语句来输出保存包含端口特性计算结果的记录文件,用Solving语句来对不同偏置条件进行求解,以及用Loading语句来加载结果文件。这些语句都可以通过 Deckbuild:ATLAS Test菜单来完成。 1 Vds=0.1V 时,获得 Id~Vgs 曲线 下面我们要在 NMOS结构中,当 Vds=0.1V时,获得简单的Id~Vgs曲线。具体步骤如下: a. 在 ATLAS Commands菜单中,依次选择 Solutions和 Solve…项。Deckbuild:ATLAS Test菜单将会出现,如图 4.62所示;点击 Prop…键以调用ATLAS Solve properties菜单;在 Log file栏中将文件名改为“nmos_”,如图 4.63所示。完成以后点击 OK; 图 4.62 Deckbuild:ATLAS Test菜单 图 4.63 ATLAS Solve properties菜单 b. 将鼠标移至 Worksheet区域,右击鼠标并选择 Add new row,如图 4.64所示; c. 一个新行被添加到了 Worksheet中,如图 4.65所示; d. 将鼠标移至 gate参数上,右击鼠标。会出现一个电极名的列表。选择 drain,如图4.66所示; e. 点击 Initial Bias栏下的值并将其值改为 0.1,然后点击 WRITE键; f. 接下来,再将鼠标移至 Worksheet区域,右击鼠标并选择 Add new row; g. 这样就在 drain行下又添加了一个新行,如图 4.67所示; h. 在 gate行中,将鼠标移至 CONST类型上,右击鼠标并选择 VAR1。分别将 Final Bias和 Delta的值改为 3.3和 0.1,如图 4.68所示; 集成电路设计中的EDA 工具应用教程 §4 工艺及器件仿真工具SILVACO-TCAD 2 图 4.64 添加新行 图 4.65 添加的新行 图 4.66 将 gate改为 drain 图 4.67 添加另一新行 集成电路设计中的EDA 工具应用教程 §4 工艺及器件仿真工具SILVACO-TCAD 3 图 4.68 设置栅极偏置参数 i. 点击 WRITE键,如下语句将会出现在 DECKBUILD文本窗口中,如图 4.69所示。 Solve init Solve vdrain=0.1 Log outf=nmos1_0.log Solve name=gate vgate=0 vfinal=3.3 vstep=0.1 图 4.69 Vds=0.1V时模拟 Id~Vgs曲线所用的语句 上述语句以 Solve init语句开始。这条语句提供了一个初始猜想,即零偏置(或热平衡)情况下的电势和载流子浓度。 在得到了零偏置解以后,第二条语句即 Solve vdrain=0.1将会模拟漏极...

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