旋转真空泵报告人:姜士胜吴凤霞樊学萍主要内容•机械真空泵及分类•旋片式真空泵的分类•旋片式真空泵应用•旋转式真空泵工作原理•机械真空泵的规格及型号表示法•特点•使用范围•故障排除的方法机械真空泵•定义:真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置
真空泵可以定义为:利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备
随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升
极限压力(极限真空)从粗真空到pa以上的超高真空范围
按其获得真空方法的的不同可分为输运式真空泵和捕获式真空泵
机械真空泵属于输运式真空泵
•凡是利用机械运动(转动或滑动)以获得真空的泵,称为机械真空泵•分类1210旋片式真空泵的分类利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出
它大致有如下几种分类:•1)油封式真空泵它是利用真空泵油密封泵内各运动部件之间的间隙,减少泵内有害空间的一种旋转变容真空泵
这种泵通常带有气镇装置
它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、余摆线真空泵等
•2)液环真空泵将带有多叶片的转子偏心装在泵壳内
当它旋转时,把工作液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环,液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔
工作液体通常为水或油,所以亦称为水环式真空泵或油环式真空泵
•3)干式真空泵它是一种泵内不用油类(或液体)密封的变容真空泵
由于干式真空泵泵腔内不需要工作液体,因此,适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合
•4)罗茨真空泵泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子
转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙
应用旋片式真空泵可以抽除密封容器中的干燥气体,若附有气镇装置,还可以抽除一定量的可凝性气体
但它不适于抽除含氧过高的,对金属