4.2 微流量红外气体分析器 微 流 量 检 测 是 一 种 利 用 敏 感 元 件 的 热 敏 特 性 测 量 微 小 气 体 流 量 变 化 的 气 体 测 量 方 法 。 传 感 元件 是 两 个 微 型 热 丝 电 阻 镍 镉 栅 和 另 外 两 个 辅 助 电 阻 组 成 惠 斯 通 电 桥 。热 丝 电 阻 通 电 加 热 至 一 定 温度 ， 当 有 气 体 流 过 时 ， 带 走 部 分 热 量 使 热 丝 元 件 冷 却 ， 电 阻 变 化 ， 通 过 电 桥 转 变 成 电 压 信 号 。 4.2.1 原理结构 西 门 子 公 司 ULTRAMAT23 型 微 流 量 红 外 气 体 分 析 器 的 原 理 结 构 如 图 2。 1－ 毛 细 管 气 流 通 道 ， 2－ 第 二 层 接 收 气 室 ， 3－ 微 流 量 传 感 器 ， 4－ 测 量 气 室 ， 5－ 切 光 片 ， 6－ 切 光 片 马 达 ， 7－ 红 外 光 源 ， 8－ 反 射 镜 ， 9－ 光 学 窗 口 ， 10－ 可 调 滑 片 ， 11－ 第 一 层 接 收 气 室 ， 12－ 第 三 层 接 收 气 室 图 2 微 流 量 检 测 器 的 单 光 路 红 外 分 析 器 光 学 系 统 示 意 图 红 外 光 源 7 被 加 热 到 600℃ 时 发 射 出 红 外 线 ， 由 切 光 片 5 调 制 成 频 率 为 25/3Hz的 间 断 光 束，经测 量 气 室 4 进入检 测 器 的 接 收 气 室 。 接 收 气 室 由 填充了待测 组 分 的 多层 串联气 室 组 成 ， 第 一 层 吸收 红 外 辐射 波带 中间 位置的 能量 ，第 二 层 吸收 边界能量 ， 二 者之间 通 过 微 流 量 传 感 器 3 连接 在一 起。 当 切 光 片 处于“接 通 ”位置时 ，第 一 层 接 收 气 室 11 填充的 待测 组 分 吸收 红 外 辐射 能量 后， 受热 膨胀 ， 压 力 增 大 ， 气 流 经毛 细 管通 道 流 向 第 二 层 接 收 气 室 2； 当 切 光 片 处于“遮 断 ”位置时 ， 第 一 层 气 室 填充气 体 冷 却 收 缩 ， 压力减小，第二层气室的气流经毛细管通道反向流回第一层气室。切光片交替通断，气流往返流经微流量传感器，便在检测器电桥两端产生了交流信号，信号幅度大小与...
