MFC 替换的相关知识 Edit by songshu E-Mail:pineyf@163.com QQ:120166808 半导体设备中MFC 的应用非常多。一般的时候,如果需要更换MFC,直接用同厂家,同型号,同标定气体,同量程的MFC 就行了。但是,如果遇到特殊情况,例如:手头上暂时没有同厂家的MFC 了(有相同标定气体,相同量程的其它厂家的MFC);或者有相同厂家,相同型号,相同量程,但是标定气体不同的MFC。或者其它情况。那么,遇到这样的情况,作为 EE,大家应该如何解决?本人从事半导体设备维修,积累了一些经验。与大家分享。欢迎大家讨论。如果有不对的地方请指教。 一般来说,MFC 的替换主要有以下两种情况: 1.标定气体相同,量程相同。但是不同的厂家。需要解决的是接线问题。因为不同厂家的MFC 的引脚和内部电路结构不同。 2.厂家相同,量程相同。但是标定气体不同。需要解决的问题是,不同气体的转换系数造成流量不同,所以要实际调节。 如图所示:两个 MFC 为不同厂家生产,标定的气体不同(一个为 N2,另一个为 O2)。量程也不同。 以下就 MFC 替换的两种情况分别进行说明。 UnRegistered1.标定气体相同,量程相同。但是不同的厂家。 有两个工作要做: 1.因为不同厂家的 MFC 的引脚定义不同。要把 9 针的 D 型插头里的引线进行改变。 2.由于不同厂家的 MFC 的内部电路结构不同。必须要注意的是电源地的问题。 例如:设备原配的 MFC 是 UNIT 的。由于 UNIT MFC 的电路结构,所以连接线只有 5 根:+15V -15V Set point (0-5V) Output (0-5V) Signal Common 0V。但是,如果用 STEC 的MFC 做替换,就必须把 STEC MFC 的 Pow er Common 0V(电源地)接在 Signal Common 0V(信号地) 上。如果 STEC MFC 的 Pow er Common 0V(电源地)悬空,那么 STEC MFC 就不工作。原因是:STEC MFC 必须在有 Pow er Common 0V(电源地) 的情况下才能工作。而UNIT MFC 就可以在没有 Pow er Common 0V(电源地) 的情况下工作。根源就是两种 MFC 的电路结构不同。 所以我们在做类似的替换时,一定要注意到这个细节。对于其它品牌的 MFC 之间的替换,我们就必须试了。 UNIT MFC +15V -15V Set point (0-5V) Output (0-5V) Signal Common 0V Equipment STEC MFC +15V -15V Set point (0-5V) Output (0-5V) Signal Common 0V Pow er Common 0V Equipmen...