作 业 文 件版本 : 页 次第 1 页 共 14 页文件编号： CBVAC- 文件名称氦质谱检漏测试规程初版日期：修订日期：生效日期：修订记录版本号修订日期（年 -月 -日）修订人修订简述编 制日 期审 核日 期批 准日 期作 业 文 件版本 : 页 次第 2 页 共 14 页文件编号： CBVAC- 文件名称氦质谱检漏测试规程初版日期：修订日期：生效日期：1、目的：为了确保产品符合技术要求，特制定检验文件指导现场进行检漏工作。2、范围：车2.1 适用于公司所有真空产品的检漏作业。3、引用标准：3.1 QJ 3123-2000 氦质谱真空检漏方法3.2 QJ 2861-96 氦质谱检漏最小可检漏率检验方法3.3 JHFM.00-YG 核安全级真空阀门项目出厂验收测试大纲3.4 JHFM.00-SG002 核安全级真空阀门项目功能性试验大纲3.5 LH/3S-9S-05/01（D）-E-03-A0 核安全级真空气氛阀技术规格书3.6GB/T15823-2009 氦泄露检测方法作 业 文 件版本 : 页 次第 3 页 共 14 页文件编号： CBVAC- 文件名称氦质谱检漏测试规程初版日期：修订日期：生效日期：4、定义：4.1 真空检漏技术：就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术，相应的仪器称为检漏仪。在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置，以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。4.2 漏率：漏率的大小需进行校准后方能确定。一般采用比较法，即将被检漏孔与标准漏孔在检漏仪上进行比较，就可得出被检漏孔的漏率。检测真空系统或其零部件的漏孔的方法。对一定的容器进行足够长时间的抽气后，容器压力不再变化，这时的抽气量必定与容器的漏气量和放气量之和相等，即puSe=qL+q0，式中 pu 为容器的极限压力， Se为容器排气口处的有效抽作 业 文 件版本 : 页 次第 4 页 共 14 页文件编号： CBVAC- 文件名称氦质谱检漏测试规程初版日期：修订日期：生效日期：气速率， qL 和 q0 分别为容器的漏气量和放气量。如放气量少到可以不计，则平衡式变为puSe=qL，或 pu=qL/Se。这说明容器的极限压力由漏气量与有效抽气速率的比值决定。如抽气速率一定(常数)，要得到低的极限压力便应降低漏气量，检漏便是关键的措施。4.3 漏孔：漏孔就是真空容器的孔洞和孔隙。容器内外的压力差会使气体通过漏孔从容器的一侧通向大气侧。漏孔一般很微小，实际上不能测出漏...
