下载后可任意编辑无尘室管理规定12024 年 4 月 19 日下载后可任意编辑目 录 1.0 无尘车间管理的目的 2.0 无尘车间管理的原则 3.0 适用范围 4.0 术语 5.0 管理程序 5．1 无尘室施工管理制度 5．2 无尘室洁净度定期检测制度/测量标准 5．3 无尘室人员管理制度 5．4 无尘室洁净服管理制度 5．5 无尘室物流/洁净室内设备及工器具管理制度 5．6 无尘室清洁、清扫和灭菌管理 22024 年 4 月 19 日下载后可任意编辑5．7 无尘室洁净室安全管理 6.0 版本更改记录 1．0 无尘车间管理的目的 半导体产品生产过程对车间有明确的洁净要求，为了满足生产工艺需要、保证产品质量、安全生产，必须对洁净室的环境、人员、物料、设备、生产过程等进行控制。 2．0 无尘车间管理的原则 2.1 进入洁净室的管理，包括对洁净室工作人员进入、物料进入、各类设备的搬入以及相关的设备、管线的维护管理，应做到不得将微粒、微生物带入洁净室。 2.2 操作管理技术，对洁净室内人员用洁净工作服的制作、穿着和清洗；操作人员的移动和动作；室内设备及装修材料的选择和清扫、灭茵等，尽可能地减少、防止洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖等。 32024 年 4 月 19 日下载后可任意编辑2.3 严格各类设备、设施的维护管理，制定相应的操作规程，保证各类设备、设施按要求正常运转，包括净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具(工装夹具)等。以确保产品生产工艺要求和空气洁净度等级。 2.4 清扫、灭菌管理，对洁净室内的各类设备、设施的清扫、灭茵以及方法、周期和检查作明确的规定，防止、捎除洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖。 2.5 洁净室环境控制的内容包括：空气净化、洁净建筑、与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电的控制、防止等。 3．0 适用范围 半导体公司所有洁净生产区及洁净辅助间(包括人员净化用室、物料净化用室和相关生活用室等)、车间内管理区(包括部分办公、值班、管理和体息室等)和将来新建、改建、扩建的洁净厂房及其辅助用房。 42024 年 4 月 19 日下载后可任意编辑4．0 术语 洁净生产区 是洁净厂房的主要部分，对洁净级别有明确规定的区域。 洁净辅助间 是洁净厂房不可缺少的必备房间。洁净辅助间对洁净厂房的平面关系密切，对洁净厂房的建造带来影响和投产后能否满足产品生产的需要以及能否可靠地防止生产...
