光刻加工的工艺过程为可供选择答案：1•① 氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗2•① 氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散3•① 氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原答案：2第 7 题:（0 分）硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于可供选择答案：1•体刻蚀加工对基体材料进行加工，而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工2•体刻蚀加工不对基体材料进行加工，而面刻蚀加工对衬底材料进行加工3•体刻蚀加工可获得高纵横比的结构，而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构答案：3第 8 题:（0 分）高速切削使用的刀具材料有很多种，其中与金属材料亲和力小，热扩散磨损小，高温硬度优于硬质合金，当韧性较差的是可供选择答案：1•陶瓷刀具2•聚晶金刚石刀具3•立方氮化硼刀具答案：1第 9 题:（0 分）下列哪种说法符合并行工程的思想可供选择答案：1•它不仅是一种工作模式，还是一种具体的工作方法2•虽然不能省去产品串行工程中的任一环节，但是要将产品的设计和其他生产环节重叠或同时进行3•它着重于一开始就对产品的关键因素进行全面考虑，以保证产品设计一次成功答案：3第 10 题:（0 分）下列哪种说法不符合敏捷制造的思想可供选择答案：1•企业的应变能力是其关键因素2•需要具有极高计算机操作水平和坚决执行指令的合格员工3
以物理、法律、社会、信息作为其基础机构答案：2第 11 题:（0 分）工业机器人有多种分类方式，其中分为专用机器人、通用机器人、示教再现式机器人和智能机器人的分类方式是可供选择答案：1•按传动方式分类2•按结构形式分类3•按系统功能分类答案：3第 12 题:（0 分）光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是可供选择答案：1
电子束曝光技术2
离子束曝光技术3
X 射线曝光技术答案：2第 13 题:（0 分）不同的材料高速切削速度范围是不同的，其中铝合金和钛的高速切削速度范围是可供选择答案：1
