下载后可任意编辑作业指导书作成审核批准编号DB-WI-H/PD-064扈炎荣版次A1页1/3生效日 ．2．19名称电镀铜工序药液管理作业指导书一、 目的为电镀铜工序的药液管理作业提供文件依据。二、 范围本法律规范适合 COF 电镀铜工序, 在操作此线时须遵守此法律规范。三、 安全3.1 开机时,必须确认各槽体液位正常, 各阀门正确, 防止药液外溢或外喷。3.2 出现紧急情况需要紧急停车时使用急停设施, 3.3 对药水操作时, 必须佩戴相关防护用具, 包括胶手套、 口罩、 目镜、 面罩、 防护服等。3.4 当一般药水溅到身体时, 要及时清洗掉; 当硫酸溅到身体时, 要尽快先用抹布擦除后, 用大量水冲洗; 当药水溅入眼睛时, 要尽快用喷流 DI 水冲洗并及时就医。所有药水不得饮食。四、 工艺流程介绍4.1 电镀铜工序工艺流程 4.2 药水操作参数表: 槽位槽名温度药水名称分析频率标准值标准范围槽体规格2除油40±5℃WT-3302 次/周13%10—15%470L9活化室温H2SO42 次/周8%6—10%470L10～15镀铜23±3℃CuSO4-·5H2O2 次/周75g/l60—90g/L1300LH2SO4100ml/l80—120ml/LCl-70ppm50—80ppm 放料水箱室温 柠檬酸每天更新6% 3—10% / 修修改履历版 次作成时间修 改 原 因修 改 内 容 摘 要A0 ．3．24 .3新规作成--A1 ．2．19参数修改除油温度更改 40±5℃( 原为 50±5℃) A1 ．2．19明确更换除油缸原只有铜含量指标编号DB-WI-H/PD-064上料三溢流水洗活化三溢流水洗下料镀铜( 6 位) 水洗烘干脱脂下载后可任意编辑作业指导书版次A1页2/3生效日 ．2．19名称电镀铜工序作业指导书五、 开线建浴5.1 过滤机不装过滤芯, 盖好, 对角拧紧螺丝; 5.2 用 3—5% NaOH 洗槽 2 小时以上, 要开打气循环搅拌; 5.3 用 3—5% H2SO4 洗槽 2 小时以上, 要开打气循环搅拌; 5.4 用 DI 水冲洗槽 2 次, 每次要排净水, 保证冲洗后槽内无固体杂质。5.5 开始建浴: 对建浴槽放入约 1/2 液位的 DI 水, 加入对应量的药水, 然后补充到标准液位, 充分搅拌后分析药水成分含量再做补充调整即可槽位槽名规格药水名称标准含量标准范围加药量2除油470LWT-33013%10—15%60L9活化470LH2SO48%6—10%38L10～15镀铜1300LCuSO4-·5H2O75g/l60—90g/L100kgH2SO4100ml/l80—120ml/L140LCl-70ppm50—80ppm按分析添加 放料水箱5L 柠檬酸6% 3—10% 300g六、 药水分析补充6.1 分析频率: 2 次/周; 6.2 分析项目: 除油、 活化...
