螺杆真空泵操作规程 1.1 概要LG 系列螺杆真空泵是一种干式运行，无接触，等螺距的螺杆型真空泵。它的工作原理，是利用两个相平行的等螺距螺杆，在泵腔中作同步高速反向旋转而产生吸气和排气作用。两螺杆经过精细动平衡处理，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间有一定间隙，因此泵工作时运行平稳，相互之间无摩檫，工作腔无需工作介质。因此，螺杆真空泵能抽除含有大量可凝性气体及粉尘的气体，是环境友好型、节能型真空泵。它是油封式机械真空泵、液环式真空泵、往复式真空泵的更新换代产品。1.2 特点(1) 工作腔内无任何介质，可获得清洁真空。(2) 工作腔及螺杆表面有防腐蚀镀层，可适应恶劣工况。(3) 工作腔干式运行，适合抽除含有粉尘的气体和可凝性的气体。(4) 单台泵可连续直排大气，从大气抽至 5Pa 以下，真空系统可大大简化。(5) 旋转部件之间无摩擦，因而寿命长；(6) 经过高精度动平衡，可高速运转，工作平稳，整机体积小。(7) 与多级爪泵相比，结构简单、紧凑，零部件少，操作简便，维护方便。(8) 与油封式机械真空泵相比，可凝性物质不会在泵内滞留，无油汽和油雾排放，环保首选。(9) 与水环泵相比，仅需要可循环应用的冷却水，被抽气体不与水接触，物料容易回收，而且省掉污水处理环节，更加环保，而且避免了水温对真空的影响。(10)与液环泵相比，极限压力更低，因而可节约能耗。（11）可与罗茨泵、分子泵组成无油机组。1.3 典型应用1）工业炉/热处理（表面硬化，淬火，烧结，渗碳，熔炼等）2）化工制药7）包装技3）镀膜8）干燥工艺4）研究与开发9）太阳能5）冶金10)电机工程6）检漏11)半导体行业1.4 型号及意义LG100LG'螺杆真空泵（为汉语拼音螺“Luo”和杆“Gan”的第一个大写字母）100——抽气速率 100L/S2 工作原理2.1 抽气原理螺杆真空泵里的泵腔由两个同步反向旋转的转子和泵体、侧盖等组成。使用了一对紧密啮合的左旋和右旋螺杆，通过非常少的零部件，实现很多的级数，并且获得很低的极限压力。图 1 和图 2 显示了两个转子和泵体以及侧盖如何构成了若干个室并实现气体压缩。两个转子同步反向高速旋转，这些气室有规律地从泵的进气口侧往排气口侧“移动”（图 2），这样气体就以低速旋流的方式运送出去。泵的持续运动不改变气体流动方向，这样就可以在一定范围内将气体夹带的微粒以及蒸汽抽送出去。与其它干式运行的压缩（缝隙密封式）真空泵一样，螺杆泵的两螺杆之间，螺杆与泵体之间要保持极为...
