洁净室简介 提纲 一、洁净室之定义 二、洁净室的等级 三、洁净室所要控制的内容 四、洁净室之分类 五、洁净室气流之流动 六、洁净室之构成 一、洁净室之定义 洁净室(Clean Room),也叫无尘室。 「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。 洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温、湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」。 污染源知识 1 、发尘量 洁净室内的发尘量,来自设备的可考虑通过局部排风排除,不流入室内;产品,材料等在运送过程中的发尘与人体发尘量相比,一般极小,可忽略;由于金属半壁(彩钢夹心板)的应用来自建筑表面的发尘也很少,一般占 10%以下,发尘主要来自人,占 90%左右。在人的发尘量上,由于服装材料和样式的改进,发尘绝对量也不断减少。 A、材质:棉质发尘量最大,以下依次为棉、的确良、去静电纯涤纶、尼龙。 B、样式:大挂式发尘量最大,上下分装型次之,全罩型最少; C、活动:动作时的发尘量一般达到静止时间 3-7 倍; D、清洗:用溶剂洗涤的发尘量降至用一般水清洗的五分之一。 室内维护结构表面发尘量,以地面为准,大约相应 8 平方米地面时的表面发尘量与一个静止的人的发尘量相当。 2 、发菌量 分析国外试验资料可以认为: (1) 洁净室内当工作人员穿无菌服时: 静止时的发菌量一般为 10-300 个/min.人 躯体一般活动时的发菌量为 150-1000 个/min.人 快步行走时的发菌量为 900-2500 个/min.人 (2) 咳嗽一次一般为 70~700 个/ min.人 喷嚏一次一般为 4000~62000 个/ min.人 (3) 穿平常衣服时发菌量 3300~62000 个/ min.人 (4) 无口罩发菌量:有口罩发菌量 1:7~1:14 (5) 发菌量:发尘量 1:500~1:1000 据国内事例: (6) 手术中人员发菌量 878 个/ min.人 所以,可知洁净室内无菌衣人员的静态发菌量一般不超过300 个/ min.人,动态发菌量一般不超过1000 个/ min/人,以此作为计算依据是可行的。 二、洁净室的等级 世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标准 20...