洁净室简介 提纲 一、洁净室之定义 二、洁净室的等级 三、洁净室所要控制的内容 四、洁净室之分类 五、洁净室气流之流动 六、洁净室之构成 一、洁净室之定义 洁净室(Clean Room),也叫无尘室
「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间
亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温、湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」
污染源知识 1 、发尘量 洁净室内的发尘量,来自设备的可考虑通过局部排风排除,不流入室内;产品,材料等在运送过程中的发尘与人体发尘量相比,一般极小,可忽略;由于金属半壁(彩钢夹心板)的应用来自建筑表面的发尘也很少,一般占 10%以下,发尘主要来自人,占 90%左右
在人的发尘量上,由于服装材料和样式的改进,发尘绝对量也不断减少
A、材质:棉质发尘量最大,以下依次为棉、的确良、去静电纯涤纶、尼龙
B、样式:大挂式发尘量最大,上下分装型次之,全罩型最少; C、活动:动作时的发尘量一般达到静止时间 3-7 倍; D、清洗:用溶剂洗涤的发尘量降至用一般水清洗的五分之一
室内维护结构表面发尘量,以地面为准,大约相应 8 平方米地面时的表面发尘量与一个静止的人的发尘量相当
2 、发菌量 分析国外试验资料可以认为: (1) 洁净室内当工作人员穿无菌服时: 静止时的发菌量一般为 10-300 个/min
人 躯体一般活动时的发菌量为 150-1000 个/min
人 快步行走时的发菌量为 900-2500 个/min
人 (2) 咳嗽一次一般