六氟化硫SF6 1
别名·英文名 Sulfur hexafluoride、Sulfur fluoride. 2
用途 电子设备、雷达波导、粒子加速器、变压器、避雷器等的气绝缘体,制冷剂,示踪装置,医疗,半导体制造中的蚀刻、化学相淀积、标准气,检漏气体,色谱仪的载气
制法 在高温下硫和氟反应制得
S+3F2→SF6 4
理化特性 分子量: 146
054 熔点(224kPa): -50
8℃ 升化点(101
325kPa): -63
7℃ 液体密度(-50
8℃): 1880kg/m3 气体密度(0℃,101
325kPa): 6
52kg/m3 相对密度(气体,空气=1,20℃,101
325kPa):5
114 比容(21
1℃,101
325kPa):0
1516m3/kg 临界温度: 45
5℃ 临界压力: 3759kPa 临界密度: 736kg/m3 压缩系数: 温度 压缩系数 100kPa 1000kPa 2000kPa 3000kPa 15 0
9886 0
8656 50 0
9926 0
9137 0
8113 0
6760 熔化热(222
35K,224kPa): 34
38kJ/kg 气化热(-63
8℃,101
325kPa): 161
61kJ/kg 比热容(气体,25℃,101
325kPa):CP=665
18J/(kg·K) (液体,225K): C=759
14J/(kg·K) 蒸气压(-20℃): 680kpa
(0℃): 1250kPa (30℃): 2680kPa 粘度(101
325kPa,0℃):0
0142mPa·S (液体,229
85K):0
500mPa·S 表面张力(-50℃): 11
63mN/m 导热系数(101
325kPa,0℃):0
01206W/(m·K) 折射率(气体,0℃,101
325kPa):