单晶炉操作规范

热检 冷检 1 . 目的 为单晶生产作业提供指导，规范操作，保证产品质量。 2 . 范围 本作业指导书适用于拉晶岗位。 3 . 安全要求 3 .1 单晶车间的安全注意事项 1 .车间内的机器设备，无操作资格者勿动。 2 .未装磁场的单晶炉，操作人员要注意防范掉进炉子旁边的缝隙里，对于已经装上磁场的，要注意不要带手机、磁卡（如银行卡身、份证）等靠近。也不能拿铁器、钢器靠近磁场，否则会造成人身伤害和设备损坏。 3 .严禁在车间内打闹，上班时要杜绝擅离职守、睡觉等。 4 .在副室与喉口间、炉盖与主室之间，只要存在可能压砸的地方，任何人严禁将身体的任何部位置于两者的空隙之间。 5 .拉晶中的炉台，严禁任何人踩踏单晶炉的底盘或将身体靠在单晶和电控柜上，以免造成炉子震动或碰到电器开关。 3 .2 进入泵房的安全注意事项 1 .确保泵房照明，如果照明灯损坏，要及时更换。 2 .必须保持泵房地面干燥和清洁，定期清扫泵房，如将油到地面上时，要及时打扫干净。 3 .机械泵皮带必须安装防护罩。 4 .清洁机械泵和换油时，必须在泵的电源开关上悬挂警示牌，工作完毕后取走警示牌。 5 洗泵时严禁将杂物掉入机械泵腔内。 3 .3 拆装炉 1 .上班必须穿戴好劳保用品。装炉时，还需戴口罩、手套等防护用品。 2 .拆炉取晶时、注意不要被烫伤、划伤、碰伤。 3 .晶体出炉后按指定地点摆放，并将晶体上多余的籽晶部份剪掉。 4 .拆拿及安装石墨件时要戴上线手套。 3 .4 乙醇、丙酮的使用 1 .工业乙醇及有丙酮害、使用时，要注意防止其溅入眼内。 2 .严禁用内酮擦拭密封圈！ 注意：乙醇和丙酮都是易燃物，应安全使用和妥善保管。 4 . 工艺流程 5 . 4 .1 工艺流程图 4.2 过程控制 4.2.1.1 取晶体 1、停炉 5 小时后须先进行手动热检漏并记录，（真空度<15mTorr）泄漏率应<15mTorr(0.55Pa/5min)。泄漏率超出范围应报修。 手动热检漏操作步骤：在触摸屏上将电控系统退到手动状态，关闭供气管道上的手动球阀，将三个电磁阀全部打开，然后抽空到极限真空。停泵并保持炉子各阀门状态不变，等待约 1 分钟，然后开始观察 5 分钟内真空的变动情况，计算出泄漏率。最后，将炉子状态复原。 2.检漏完毕后，分阶段缓慢降低晶转到零）持续时间约 3-5 分钟）。禁止将晶转快速或直接降到零！用蘸酒精的普通擦护纸将炉体外壁从上到下擦拭一遍。包括提拉头、检修平台、副炉筒、护盖、主炉筒。擦拭过程中要小...