单 晶 硅 的 生 产 过 程 一 、单 晶 硅 的 制法通常是先制得多晶 硅 或无定形硅 ,然后用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生 长出棒状单 晶 硅
熔融的 单 质硅 在凝固时硅 原子以金刚石晶 格排列成许多晶 核,如果这些晶 核长成晶 面取向相同的 晶 粒,则这些晶 粒平行结合起来便结晶 成单 晶 硅
单 晶 硅 棒是生 产 单 晶 硅 片的 原材料,随着国内和国际市场对单 晶 硅 片需求量的快速增加,单 晶 硅 棒的 市场需求也呈快速增长的 趋势
单 晶 硅 圆片按其直径分为 6 英寸、8 英寸、12 英寸(300 毫米)及 18 英寸(450 毫米)等
直径越大的 圆片,所能刻制的 集成电路越多,芯片的 成本也就越 低
但大尺寸晶 片对材料和技术 的 要 求也越高
单 晶 硅 按晶 体生 长方 法的 不同,分为直拉法(CZ)、区熔法(FZ)和外 延 法
直拉法、区熔法生 长单 晶 硅棒材, 外 延 法生 长单 晶 硅 薄 膜
直拉法生 长的 单 晶 硅 主 要 用于 半 导 体集成电路、二 极 管 、外 延 片衬 底 、太 阳 能电池
目 前 晶 体直径可 控 制在Φ3~8 英寸
区熔法单 晶 主 要 用于 高 压 大功 率 可 控 整 流 器 件 领 域 ,广 泛 用于 大功 率 输 变 电、电力 机车 、整 流 、变 频 、机 电一 体化 、节 能灯 、电视 机 等系 列产 品
目 前 晶 体直径可 控制在Φ3~6 英 寸
外 延 片主 要 用于 集成电路领 域
由 于 成本和性 能的 原因 ,直拉法(CZ)单 晶 硅 材料应 用最 广
在 IC 工 业 中所用的 材料主 要 是 CZ 抛 光 片和外 延 片
存 储 器 电路通常使 用 CZ 抛 光 片,因 成本较 低
逻 辑 电路一 般 使 用价 格较 高 的 外 延 片,因 其在 IC