单 晶 硅 的 生 产 过 程 一 、单 晶 硅 的 制法通常是先制得多晶 硅 或无定形硅 ，然后用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生 长出棒状单 晶 硅 。熔融的 单 质硅 在凝固时硅 原子以金刚石晶 格排列成许多晶 核，如果这些晶 核长成晶 面取向相同的 晶 粒，则这些晶 粒平行结合起来便结晶 成单 晶 硅 。 单 晶 硅 棒是生 产 单 晶 硅 片的 原材料，随着国内和国际市场对单 晶 硅 片需求量的快速增加，单 晶 硅 棒的 市场需求也呈快速增长的 趋势。 单 晶 硅 圆片按其直径分为 6 英寸、8 英寸、12 英寸（300 毫米）及 18 英寸（450 毫米）等。直径越大的 圆片，所能刻制的 集成电路越多，芯片的 成本也就越 低。但大尺寸晶 片对材料和技术 的 要 求也越高 。单 晶 硅 按晶 体生 长方 法的 不同，分为直拉法（CZ）、区熔法（FZ）和外 延 法。直拉法、区熔法生 长单 晶 硅棒材， 外 延 法生 长单 晶 硅 薄 膜 。直拉法生 长的 单 晶 硅 主 要 用于 半 导 体集成电路、二 极 管 、外 延 片衬 底 、太 阳 能电池 。目 前 晶 体直径可 控 制在Φ3~8 英寸。区熔法单 晶 主 要 用于 高 压 大功 率 可 控 整 流 器 件 领 域 ，广 泛 用于 大功 率 输 变 电、电力 机车 、整 流 、变 频 、机 电一 体化 、节 能灯 、电视 机 等系 列产 品 。目 前 晶 体直径可 控制在Φ3~6 英 寸。外 延 片主 要 用于 集成电路领 域 。 由 于 成本和性 能的 原因 ，直拉法（CZ）单 晶 硅 材料应 用最 广 。在 IC 工 业 中所用的 材料主 要 是 CZ 抛 光 片和外 延 片。存 储 器 电路通常使 用 CZ 抛 光 片，因 成本较 低。逻 辑 电路一 般 使 用价 格较 高 的 外 延 片，因 其在 IC 制造 中有 更 好 的 适 用性并 具 有 消 除Latch－ up 的 能力 。 单 晶 硅 也称 硅 单 晶 ，是电子信 息 材料中最 基 础 性 材料，属 半 导 体材料类 。单 晶 硅 已 渗 透 到 国 民 经 济 和 国 防 科 技 中 各 个 领 域 ， 当 今 全 球 超 过 2000 亿 美 元 的 电 子通 信 半 导 体 市 场 中 95%以 上 的 半 导 体 器 件 及 99%以 上 的 集 成 电 路 用 硅 。 ...
