直拉单晶操作规程操作规程一、拆炉1:准备确认停炉冷却时间达 5h,准备好钳子及取晶筐，向炉内充 Ar 气，确认炉内为常压时，副室门打开，关闭 Ar 流量计启动液压，升起副室筒，稳住晶体轻推左旋副室，晶体筐对准副室筒口，按下晶快降速按钮。将晶体安全降入筐内，手扶籽晶夹头，用钳子将细颈处剪断，手扶夹头，待钢丝绳拧力全部消失后取籽晶，重锤升进副室内启动液压升起炉盖。左旋至副室筒下。2:炉子清扫2—1 戴好工作帽，口罩及专用手套，准备好酒精,吸尘器，无尘纸及放石墨件的不锈钢车。2—2 依次取出导流筒及上保温盖，先取掉热偶升起主炉室向右旋出，取出上保温筒石英坩锅及埚底料，并放入到不锈钢桶内到指定的地方，锅底料应写清炉号及炉次。注意：1：石墨件不能用手接触。2：小心锋利的石英锅碎片和锅底料扎伤手指。3：石英碎片和锅底料渣不要掉入轴波纹管及加热器缝隙内。2—3 每炉必须在取下晶棒后及时清理过滤罐、过滤网，3 炉大清炉，每炉管道。注意：清理过滤罐和管道，具有自燃的现象不能造成人生事故和将密封圈烧坏的现象，所以拆除的地方必须用酒精擦净密封圈并装好。保证密封圈的完好。2—4 戴好一次性手套，采取自上而下的原则，清扫副室筒及炉盖，用专用工具沾上酒精，一圈一圈的仔细擦拭副炉筒。注意：长棍不要和钢丝绳绕在一起，用纸巾沾上酒精擦炉盖顶上密封圈及翻板阀，密封圈并保证密封较进槽无误。2—5 主炉清扫戴好一次性手套用吸尘器与毛刷先刷净附着在主炉室的挥发物，吸净加热器托盘，炉底。注意：加热器电极螺丝是否松动，炉底排气孔是否畅通。用沾有酒精的纸巾把主炉室及密封圈擦拭干净。2—6 石墨件的清扫吸净导流筒，保温罩，三瓣埚，用纸巾沾少量的酒精反复擦拭直至无污物。2—7 石墨件的装炉(1)埚杆装好后要拧紧螺丝，埚杆要平稳无跳动。(2)三瓣埚装入后要平稳2—8 检查真空泵油位是否在 2/3 处2—9 检查真空泵油是否干净二、装炉1:准备戴好口罩，帽子，打开石英埚包装，取出石英埚，对光。2:装料用较小的料 3-5kg 铺平埚底，大块料置于中间，用适当的料固定，小块料填缝，将母合金全放入中间用料盖住，最后吸净周围料渣。注意：(1)小块料，小片料不能掉入加热器上，以防打火。(2)放料时要轻，不能碰坏石英埚。(3)装料时，周围空气环境要好，尽量不要造成污染。3:合炉3—1 料装好后，埚转开启 2-3 转/分，确认无短路的可能，快速降至埚下限位，应注意低于平口位置 100 血为宜，以防下限...
