1 球差、像散和色差是怎样造成的
如何减小这些像差
哪些是可消除的像差
答：1，球差是由于电磁透镜磁场的近轴区与远轴区对电子束的会聚能力的不同而造成的
一个物点散射的电子束经过具有球差的电磁透镜后并不聚在一点，所以像平面上得到一个弥散圆斑，在某一位置可获得最小的弥散圆斑，成为弥散圆
还原到物平面上，则半径为rs=1/4 Cs α3rs为半径，Cs 为透镜的球差系数，α 为透镜的孔径半角
所以见效透镜的孔径半角可减少球差（决定分辨率的像差因素）
2，色差是由于成像电子的波长（能量）不同而引起的
一个物点散射的具有不同波长的电子，进入透镜磁场后将沿各自的轨道运动，结果不能聚焦在一个像点上，而分别交在一定的轴向范围内，形成最小色差弥散圆斑，半径为 rc=Cc α |△ E/E|,Cc为透镜色差系数，α 为透镜孔径半角，△E/E 为成像电子束能量变化率
所以减小△E/E(稳定加速电压)、 α 可减小色差
3,像散是由于透镜磁场不是理想的旋转对称磁场而引起(极靴内孔不圆、上下极靴不同轴、材质磁性不均及污染)
2 消像散器的作用和原理是什么
消像散器的作用就是用来消除像散的
其原理就利用外加的磁场把固有的椭圆形磁场校正成接近旋转对称的磁场
机械式的消像散器式在电磁透镜的磁场周围放置几块位置可以调节的导磁体来吸引一部分磁场从而校正固有的椭圆形磁场
而电磁式的是通过电磁板间的吸引和排斥来校正椭圆形磁场的
3 什么是分辨率，影响透射电子显微镜分辨率的因素是哪些
答：分辨率：两个物点通过透镜成像，在像平面上形成两个爱里斑，如果两个物点相距较远时，两个Airy 斑也各自分开，当两物点逐渐靠近时，两个Airy 斑也相互靠近，直至发生部分重叠
根据Load Reyleigh 建议分辨两个Airy 斑的判据：当两个Airy 斑的中心间距等于Airy斑半径时，此时两个Airy 斑
