1 离 子 氮 化 及 优 点 ， 常 见 缺 陷 及 原 因 分 析 ， 工 艺 制 定 离 子 氮 化 是 由 德 国 人 B
Berghaus 于 1932 年 发 明 的
该 法 是 在 0
1～ 10Torr（ Torr = 133
3 Pa） 的 含 氮 气 氛 中 ， 以 炉 体 为 阳 极 ， 被 处 理 工 件 为 阴 极 ， 在 阴 阳极 间 加 上 数 百 伏 的 直 流 电 压 ， 由 于 辉 光 放 电 现 象 便 会 产 生 象 霓 红 灯 一 样 的 柔 光覆 盖 在 被 处 理 工 件 的 表 面
此 时 ， 已 离 子 化 了 的 气 体 成 分 被 电 场 加 速 ， 撞 击 被处 理 工 件 表 面 而 使 其 加 热
同 时 依 靠 溅 射 及 离 子 化 作 用 等 进 行 氮 化 处 理
离 子 氮 化 法 与 以 往 的 靠 分 解 氨 气 或 使 用 氰 化 物 来 进 行 氮 化 的 方 法 截 然 不同 ， 作 为 一 种 全 新 的 氮 化 方 法 ， 现 已 被 广 泛 应 用 于 汽 车 、 机 械 、 精 密仪器、 挤压 成 型机 、 模具等 许多领域， 而 且其 应 用 范围仍在 日益扩大
离 子 氮 化 法 具有以 下一 些优 点 ： ①由 于 离 子 氮 化 法 不 是 依 靠 化 学反应 作 用 ， 而 是 利用 离 子 化 了 的 含 氮 气 体进 行 氮 化 处 理 ， 所以 工 作 环境十分 清洁 而 无 需 防 止 公 害 的 特 别 设 备
因 而 ， 离子 氮 化 法 也 被 称 作 二 十一 世 纪 的 “绿 色 ”氮 化 法
② 由 于 离 子 氮 化 法 利用 了 离 子 化 了 的 气 体 的 溅 射 作 用 ， 因 而 与 以 往 的 氮 化处 理 相 比 ，
