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氮化优点及常见缺陷原因分析工艺制定

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1 离 子 氮 化 及 优 点 , 常 见 缺 陷 及 原 因 分 析 , 工 艺 制 定 离 子 氮 化 是 由 德 国 人 B.Berghaus 于 1932 年 发 明 的 。 该 法 是 在 0.1~ 10Torr( Torr = 133.3 Pa) 的 含 氮 气 氛 中 , 以 炉 体 为 阳 极 , 被 处 理 工 件 为 阴 极 , 在 阴 阳极 间 加 上 数 百 伏 的 直 流 电 压 , 由 于 辉 光 放 电 现 象 便 会 产 生 象 霓 红 灯 一 样 的 柔 光覆 盖 在 被 处 理 工 件 的 表 面 。 此 时 , 已 离 子 化 了 的 气 体 成 分 被 电 场 加 速 , 撞 击 被处 理 工 件 表 面 而 使 其 加 热 。 同 时 依 靠 溅 射 及 离 子 化 作 用 等 进 行 氮 化 处 理 。 离 子 氮 化 法 与 以 往 的 靠 分 解 氨 气 或 使 用 氰 化 物 来 进 行 氮 化 的 方 法 截 然 不同 , 作 为 一 种 全 新 的 氮 化 方 法 , 现 已 被 广 泛 应 用 于 汽 车 、 机 械 、 精 密仪器、 挤压 成 型机 、 模具等 许多领域, 而 且其 应 用 范围仍在 日益扩大。 离 子 氮 化 法 具有以 下一 些优 点 : ①由 于 离 子 氮 化 法 不 是 依 靠 化 学反应 作 用 , 而 是 利用 离 子 化 了 的 含 氮 气 体进 行 氮 化 处 理 , 所以 工 作 环境十分 清洁 而 无 需 防 止 公 害 的 特 别 设 备 。 因 而 , 离子 氮 化 法 也 被 称 作 二 十一 世 纪 的 “绿 色 ”氮 化 法 。 ② 由 于 离 子 氮 化 法 利用 了 离 子 化 了 的 气 体 的 溅 射 作 用 , 因 而 与 以 往 的 氮 化处 理 相 比 , 可 显 著 的 缩 短 处 理 时 间 ( 离 子 渗 氮 的 时 间 仅 为 普 通 气 体 渗 氮 时 间 的1/3~ 1/5) 。 ③ 由 于 离 子 氮 化 法 利用 辉 光 放 电 直 接 对 工 件 进 行 加 热 , 也 无 需 特 别 的 加 热和 保 温 设 备 , 且可 以 获 得 均 匀 的 温 度 分 布 , 与 间 接 加 热 方 式 相 比 加 热 效 率 可 提高 2 倍 以 上 , 达 到 节 能 效 ...

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