1 真空泵的工作原理 一、2X 型旋片式真空泵(简称旋片泵)工作压强范围为101325~1
33×10-2(Pa)属于低真空泵
它可以单独使用,也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵
它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门
旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体,若附有气镇装置,还可以抽除一定量的可凝性气体
但它不适于抽除含氧过高的,对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体
旋片泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一
旋片泵多为中小型泵
旋片泵有单级和双级两种
所谓双级,就是在结构上将两个单级泵串联起来
一般多做成双级的,以获得较高的真空度
旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下:在入口压强为1333Pa、1
33Pa 和 1
33×10-1(Pa)下,其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和 20%
二、2X 型旋片真空泵工作原理如下: 旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成
在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子,转子外圆与泵腔内表面相切(二者有很小的间隙),转子槽内装有带弹簧的二个旋片
旋转时,靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触,转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动
两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成 A、B、C 三部分,当转子按箭头方向旋转时,与吸气口相通的空间 A 的容积是逐渐增大的,正处于吸气过程
而与排气口相通的空间 C 的容积是逐渐缩小的,正处于排气过程
居中的空间 B 的容积也是逐渐减小的,正处于压缩过程
由于空间 A 的容积是逐渐增大(即膨胀),气体压强降低,泵的入口处外部气体压强大于空间 A 内的压强,因此将气体吸入
当空间 A 与吸气口隔绝时,即转至空间 B 的位置,气体开始被压缩,容积逐渐缩小,最后与排气口相通
当被压缩气体超过排气压强时,排气