1 第一部分：选用真空泵时需要注意事项： 1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg 的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。 2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为 10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为 5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在 10-8mmHg 下长期工作。又如钛升华泵可以在 10-2mmHg 下工作，但其工作压强应小于 1×10-5mmHg 为好。 3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。 4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。 5、真空设备对油污 染 的要求。若 设备严 格 要求无 油时，应该选各 种无 油泵，如：水 环 泵、分子筛 吸 附 泵、溅射离子泵、低温 泵等 。如果 要求不严 格 ，可以选择有油泵，加 上 一些 防 油污 染 措 施 ，如加 冷阱 、障 板 、挡 油阱 等 ，也 能达 到清 洁 真空要求。 6、了 解 被 抽气体成 分，气体中含 不含 可凝 蒸 气，有无 颗 粒 灰 尘 ，有无 腐 蚀 性等 。选择真空泵时，需要知 道 气体成 分，针 对被 抽气体选择相应的泵。如果 气体中含 有蒸 气、颗 粒 、及腐 蚀 性气体，应该考 虑在泵的进 气口管 路 上 安 装辅 助 设备，如冷 凝 器 、除 尘 器 等 。 7、真空泵排出来的油蒸 气对环 境 的影 响 如何 。如果 环 境 不允 许 有污 染 ，可以选无 油真空泵，或者把油蒸 气排到室 外。 8、真空泵工作时产生的振 动 对工艺过程及环 境 有无 影 响 。若 工艺过程不允 许 ，应选择无 振 动 的泵或者采 取 防 振 动 措 施 。 9、真空泵的价 格 、运 转 及维 修 费 用。 第二部分：水...
