真空系统设计(1) 第八讲：真空系统设计 王继常 (东北大学) 一、真空系统的组成 真空应用设备种类繁多，但无论何种真空应用设备都有一套排除被抽容器内气体的抽气系统，以便在真空容器内获得所需要的真空条件。举例来说：一个真空处理用的容器，用管道和阀门将它与真空泵连接起来，当真空泵对容器进行抽空时，容器上要有真空测量装置，这就构成了一个最简单的真空抽气系统(如图1)。 图1 所示的最简单的真空系统只能在被抽容器内获得低真空范围内的真空度，当需要获得高真空范围内的真空度时，通常在图1 所示的真空系统中串联一个高真空泵。当串联一个高真空泵之后，通常要在高真空泵的入口和出口分别加上阀门，以便高真空泵能单独保持真空。如果所串联的高真空泵是一个油扩散泵，为了防止大量的油蒸气返流进入被抽容器，通常在油扩散泵的入口加一个捕集器——水冷障板(如图2 所示)。根据要求，还可以在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软连接管道、真空泵入口放气阀等等，这样就构成了一个较完善的高真空系统。 凡是由两个以上真空泵串联组成的真空系统，通常都把抽低真空的泵叫做它上一级高真空泵的前级泵(或称前置泵)，而最高一级的真空泵叫做该真空系统的主泵，即它是最主要的泵，被抽容器中的极限真空度和工作真空度就由主泵确定。被抽容器出口到主泵入口之间的管路称为高真空管路，主泵入口处的阀门称为主阀。 通常前级泵又兼作予真空抽气泵。被抽容器到予抽泵之间的管路称为予真空管路，该管路上的阀门称为予真空管道阀。主泵出口到前级泵入口之间的管路称为前级管道，该管路上的阀门称为前级管道阀，而软连接管道是为了隔离前级泵的振动而设置的。 总起来说，一个较完善的真空系统由下列元件组成： 1．抽气设备：例如各种真空泵； 2．真空阀门； 3．连接管道； 4．真空测量装 置：例如真空压 力 表 、各种规管； 5．其 它元件：例如捕集器、除尘器、真空继电器规头、储 气罐 等。 那 么 ，究 竟 什 么 是真空系统?用 一句 话 来概 括 ，就是：用 来获得有 特 定要求的真空度的抽气系统。 真空系统设计 的基 本 内容：是根据被抽容器对 真空度的要求，选 择 适 当的真空系统设计方 案 ，进行 选 、配 泵计 算 ；确定导 管、阀门、捕集器、真空测量元件等，进行 合 理 配 置，最后划出真空系统装 配 图和零 部 件图。 二 、真空技 术 基 本 方 程 真空系统最重...
