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石英晶体元件的潜在失效模式和效因分析

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1 石 英 晶 体 元 件的 潜 在 失 效 模 式 和 效 因 分 析 — — FMEA 石 英 晶 体 元 件 在 生 产 中 经 常 发 生 这 样 或 那 样 的 质 量 问 题 , 一 般 的 失 效 模 式 有 室 温 调整 频 差 大 ; 温 度 频 差 超 差 ; 谐 振 电 阻 大 及 其 变 化 大 ; 频 率 和 谐 振 电 阻 不 稳 ; 停 振 ; 并 电容 大 ; 动 态 电 容 达 不 到 要 求 ; 密 封 性 差 ; 绝 缘 电 阻 小 ; 抗 振 动 、冲 击 强 度 低 ; 有 寄 生 响应 和 频 率 温 度 特 性 曲 线 不 平 滑 ; DLD 不 合 格 ; 年 老 化 率 大 等 问 题 。 现 给 予 分 析 : 一 、等 效 电 阻 大 与 不 稳 定 等 效 电 阻 的 定 性 公 式 是 : 22212qnqeFtRnRngS ( 1) 上 式 表 明 等 效 电 阻 与 石 英 晶 体 的 密 度 ρ、内 摩 擦 系 数F、石 英 片 的 厚 度 t 及 泛 音次 数n 的 平 方 成 正 比 , 与 压 电 常 数 ε的 平 方 及 电 极 面 积Se 成 反 比 。 具 体 地 讲 与 下 述因 素 有 关 : 1.与 人 造 水 晶 原 料 的 质 量 有 关 人 造 水 晶 的 杂 质 少 , 位 错 少 , 腐 蚀 隧 道 密 度 少 , 生 长 速 率 小 ( ≤0.4mm/天 ),且 使 用 Z 区 的 料 , 则 Q 值 高 , 谐 振 电 阻 小 , 特 别 要 注 意 人 造 水 晶 含 铝 杂 质 多 而 使S 区 加 大 , 从 而 使 S 区 进 入 石 英 片 且 进 入 电 极 区 , 使 石 英 片 电 阻 增 加 。 2.与 石 英 片 的 表 面 质 量 有 关 石 英 片 表 面 有 破 边 、破 角 、砂 坑 、砂 痕 , 表 面 光 洁 度 差 造 成 石 英 表 面 应 力 大 ,且 在 石 英 片 振 动 时 , 使 摩 擦 损 耗 增 加 , 导 致 谐 振 电 阻 增 加 。 (1)在 粗 、中 、细 磨 和 抛 光 时 砂 号 不 能 混 , 选 择 砂 号 正 确 , 每 道 加 工 工 序 完 成 后 , 应 彻底 清 洗 , 不 允 许 把 残 砂 流 到 下 工 序 。 (...

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