砷 化 镓 晶 体 定 向 、 籽 晶 加 工 和 安 装 技 术 一 个 理 想 的 籽 晶 , 应 是 同 一 材 料 的 无 缺 陷 或 很 少 缺 陷 的 有 一 定 取 向 单 晶 制 成 。 籽 晶 可 以是 圆 柱 , 也 可 是 方 形 。 直 径 不 宜 太 粗 。 籽 晶 必 须 具 有 确 定 的 晶 向 , 生 长 的 砷 化 镓 晶 体 一 般 有<11l>、 <100>、 <21l>、 <511>等 晶 向 。 籽 晶 加 工 分 同 类 晶 向 的 籽 晶 加 工 和 不 同 类 晶 向 的 籽 晶加 工 。 为 了 得 到 晶 向 精 度 较 高 的 籽 晶 , 必 须 对 加 工 籽 晶 的 晶 体 进 行 定 向 。 以 下 介 绍 几 种 定 向方 法 。 1 解 理 法 定 向 晶 体 的 解 理 , 就 是 当 晶 体 受 到 定 向 机 械 应 力 的 作 用 时 , 可 以 平 行 一 个 或 几 个 平 整 的 面 分裂 开 的 性 质 。 这 些 分 裂 的 平 整 平 面 称 为 解 理 面 。 晶 体 的 解 理 面 形 成 机 理 分 为 三 类 : (1)晶 体在 各 方 向 上 键 结 合 的 方 式 是 否 有 很 大 差 异 , 键 合 较 微 弱 的 晶 面 必 然 是 解 理 面 。 (2)如 果 晶 体中 各 个 方 向 上 键 合 的 方 式 相 同 , 相 邻 晶 面 间 键 密 度 的 大 小 , 键 密 度 小 的 必 然 是 解 理 面 。 (3)对 于 带 有 离 子 键 的 晶 体 , 晶 面 间 的 作 用 , 键 密 度 的 大 小 不 是 唯 一 的 因素, 而还应 考虑相 邻 晶面 间 的 静电作 用 。 在 砷 化 镓 晶 体 中 , (111)晶 面 (又称 为 A 面 )全部是 由Ⅲ族镓 原子 组成 , (-1-1-1)晶 面 (又称B 面 )全部由V 族砷 原子 组成 , 而(111)面 与(-1-1-1)面 在 晶 体 中 是 交替排列的 。 砷 化 镓 晶 体 中的 镓 原子 和 砷 原子 都处于 极化 状态, 即镓 原子 带 负电, 砷 原子 带 正电。 因此在 (111)晶 面 与(-1-1-1)晶 面 之间 存在 静电引力 作 用 , 外来的 机 械 作 用 力 不 易把它们分 裂 开 。 而在 每个 (110)晶 面 间 上 都有 ...