内 层 制 程 试 车 作 业 法律 规 范一、目的 ---------------------------------------------------------------1二、说明 ---------------------------------------------------------------3三、设备点检项目 ----------------------------------------------------4四、测试项目 ----------------------------------------------------------5一、目的测试新进设备品质和制程能力，为现场量产做准备二、说明内层试车计画包含伍个主要设备，清单如下：（1）裁板机（2）前处理线（3）压膜机（4）曝光机（5）後处理制程试车计画由相关制程负责 PE 编制,交付工程部、制造部及品保部会签，会同相关制程的各部负责人共同配合执行。测试板与小量产规定(1) 测试板数量: 20-100PNL ,尺寸:接近设备最大设计尺寸,板厚:无特别要求时 40-60mil.(2) 小量产数量 3-10 lot(150PNL/lot)三 设备点检项目设 备 名称设备点检项目结果备注内层前处理机械传动是否正常，有无跳轮、卡板、传送偏移现象喷嘴是否有堵塞、歪斜温度显示与实际温度是否相符各段之间信号传输、配合以及感应、添加、警报是否正常设备有无漏液现象设备各表头显示是否符合实际压膜机械传动是否正常，有无跳轮、卡板、传送偏移现象机台各部分是否运转正常、符合规格要求曝光机械传动是否正常，有无跳轮、卡板、传送偏移现象机台各部分是否运转正常、符合规格要求DES机械传动是否正常，有无跳轮、卡板、传送偏移现象喷嘴是否有堵塞、歪斜温度显示与实际温度是否相符各段之间信号传输、配合以及感应、添加、警报是否正常设备有无漏液现象设备各表头显示是否符合实际四 测试项目制 程站别项 目测试标准测试结果内层裁板尺寸精确度与设定值相差 2mm 内 板边无 BURR无 BURR 一次裁切厚度30mm 内层前处理水破实验>=30s微蚀测试 40±10μ〞烘干测试无水痕残留传动测试无卡板、无刮伤板面清洁度无异物内层压膜线设备传送无卡板、气泡、膜皱 干膜对准度干膜距板边 2±1mm 板出温度60±5℃ 温度均匀性左中右温差小於 7℃ 内层曝光线设备传送无卡板 曝光能量±格 曝光均匀性自动 85%↑CCD 对位精准度偏差 1 mil 内 真空度22inHg↑ DES 线设备传送无卡板，无刮伤 显影 PH 值↑ 显影点50%±5%解析度/附着力55μm /55μm氯化铜测试无亮点铜面存在蚀刻点70%±5%蚀刻均匀性10%↓蚀刻因数3↑去膜点40%±5%制 程站别 项 目测试标准内层裁板 尺寸精确...
