特种气体系统的设计与施工前言：一个工艺技术先进的大规模集成电路工厂的硅片制造过程中，全部工艺大约要使用 50 种不同的电子气体。其中大部分为特种气体。本文就特种气体系统的设计与施工方面做一个简单描述。关键词:特种气体 气瓶柜 316L EP一：概念 特气输送系统是指:将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制,通过管道、无二次污染、稳定的输送到工艺设备的用气点。其基本流程是：气源 控制柜 管道传输 VMB 用气点二:分类特种气体根据气体性质不同一般分为：惰性气体、易燃易爆气体、有毒气体和腐蚀性气体；根据供应包装的不同分为：特种气体和大宗特种气体。三:供气系统的选择1. 简单供气系统 简单供气系统主要针对 4 英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。它们的制程简单，通常不需要连续性供气 ,对气体供应系统的投资预算低。 由于气体流量小，不常常使用，特种气体气源多采纳普通钢瓶（ <50L）。输送系统多采纳半自动气瓶柜或气瓶架加简单的控制面板；配置继电器控制，自动切换，手动吹扫，手动放空，有害性气体配备紧急切断阀。惰性气体瓶架则采纳全手动系统，有些甚至用单瓶系统。所有气体共用一个气体房，甚至没有气体房，特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道，或直接放在工艺制造设备旁边或隔壁。假如没有特别危险气体一般共用一个抽风系统。简单供气系统通常存在安全隐患。2. 常规供气系统 常规供气系统主要应用于 4—6 英寸 大规模集成电路厂，50MW 以下的太阳能电池生产线，发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业 .对气体纯度控制的要求不苛刻，系统配备在满足安全的前提下尽量简单，节约投资. 特种气体采纳普通钢瓶（〈50L）供气。特气输送系统采纳气瓶柜.配置全自动PLC 控制器，彩色触摸屏；气风光板采纳气动阀门和压力传感器，可实现自动切换，自动氮气吹扫，自动真空辅助放空;多重安全防护措施，泄漏侦测，远程紧急切断；专用氮气吹扫起源等等.VMB 采纳支路气动阀,氮气吹扫，真空辅助排空。惰性气体多采纳半自动气瓶架,继电器控制,自动切换，手动吹扫，手动放空 ;VMB 主管气动阀，氮气吹扫；支路气动阀，氮气吹扫,真空辅助排空。气体房和抽风系统根据气体性质进行分类。 3.大宗特气供气系统 大规模供气系统主要针对大规模量产的 8—12 英寸（1 英寸=25。4 毫米) 超大规模集成电路厂(气体种类包括...
