新型压阻式硅微加速度传感器1.新颖性压阻式硅微加速度传感器，因其具有响应快、灵敏度高、精度高、易于小型化等优点，尤其是它的低频响应好，并且该传感器在强辐射作用下能正常工作，对它的研究近年来受到重视。在工业自动控制、汽车、地震测量、军事和空间系统、医学及生物工程等领域中有着广泛的应用前景。在实际生活应用中往往传感器的灵敏度和量程很难做到二者兼优，为了更好地提高压阻式加速度传感器的灵敏度，新型压阻式加速度传感器的量程设计加以改进，利用静电力对其量程进行可调控制。对于一个结构和几何参数确定的悬臂梁式加速度传感器的设计考虑主要在于：其敏感质量块的自由运动范围，制约着它的测量范围。新型压租式硅微加速度传感器采用静电力来抵消部分加速度惯性力，使同样大小的质量块位移量能够代表更大或不同的被测加速度值，从而实现量程可调的目的。2.传感器工作原理压阻效应半导体材料的压阻效应是指半导体材料受应力作用时，其电阻率发生变化的物理现象。原因可以解释为：由应变引起能带变形，从而使能带谷中的载流子数也发生相对变化，导致电阻率变化。由半导体电阻理论可知电阻率 P 的相对变化为 dP/P=KEe 式中，兀为沿晶向 L 的压阻系数，单位 m2/N；Q 为LLL沿晶向 L 的应力，单位 m2/N；E 为半导体材料的弹性模量，e 为轴向应变。压阻式加速度传感器工作原理压阻式加速度传感器的工作原理是:在测量物体加速度时是基于牛顿第二定律，即物体运动的加速度与作用在它上面的力成正比，与物体的质量成反比，即a=F/m。当物体以加速度运动时，质量块受到一个与加速度方向相反的惯性力作用，使悬臂梁变形，该变形引起压阻效应，悬臂梁上半导体电阻阻值发生变化致使桥路不平衡，从而输出电压有变化，即可得出加速度 a 值的大小。悬臂梁压阻式加速度计的传感原理悬臂梁压阻式加速度微传感器是通过将加速度产生的作用加到质量块上,并将质量块的移动通过压敏电阻来测量。悬臂梁压阻式加速度微传感器的结构简化图如下所示。悬臂梁压阻式加速度计结构简化图1—悬臂梁；2—扩散电阻；3—质量块；4—机座外壳当加速度作用于悬臂梁自由端质量块时，悬臂梁受到弯矩作用产生的应力而发生变形由于硅的压阻效应，各应变电阻的电阻率发生变化，电桥失去平衡，输出电压发生变化，通过测量输出电压的变化可得到被测量的加速度值新型悬臂梁压阻式加速度计量程改进的依据压阻式加速度计的工作原理是根据作用在弹性元件上的外力致使...
