昆山百锐克金属科技有限公司昆山百锐克金属科技有限公司DateDate：：20120155..99.0.011高性能纳米涂层技术在PCB微钻上的应用和成本效益概算1.0PVD1.0PVD产品技术背景及应用产品技术背景及应用物理气相沉积（物理气相沉积（PhysicalVaporDepositionPhysicalVaporDeposition））PVDPVD技术是近几十年逐步发展起来并被广泛看好的新型表面技术是近几十年逐步发展起来并被广泛看好的新型表面处理工艺。它通过不同的工艺路线，如处理工艺。它通过不同的工艺路线，如真空磁控溅射、离子真空磁控溅射、离子注入、电弧─离子涂敷注入、电弧─离子涂敷等方式把特定功能镀层覆盖在各式各等方式把特定功能镀层覆盖在各式各样的基体材料表面，借以实现种种优异的特性：如样的基体材料表面，借以实现种种优异的特性：如超高硬度、超高硬度、超耐磨性、高韧性、高热传导性、高致密度、抗氧化、耐腐超耐磨性、高韧性、高热传导性、高致密度、抗氧化、耐腐蚀、低摩擦系数、自润滑、超导电或高绝缘体蚀、低摩擦系数、自润滑、超导电或高绝缘体等。等。1.1PVD1.1PVD加工流程概述及微观结构加工流程概述及微观结构PVDPVD镀膜的大致工艺流程如下：镀膜的大致工艺流程如下：（（11）镀前清洗工艺：）镀前清洗工艺：浸入粗清洗液，超声激励→清洗剂脱油→超声自来水清洗浸入粗清洗液，超声激励→清洗剂脱油→超声自来水清洗--超声去超声去离子水漂洗脱水。离子水漂洗脱水。（（22）涂层处理工艺：）涂层处理工艺：产品装卡上架→抽真空→系统加热（充入氩气，辉光放电）→离子轰产品装卡上架→抽真空→系统加热（充入氩气，辉光放电）→离子轰击→充入氮气，涂层（按材质和膜层要求调节工作参数）→降温出炉。击→充入氮气，涂层（按材质和膜层要求调节工作参数）→降温出炉。（（33）涂层性能测试与分拣包装）涂层性能测试与分拣包装涂层炉丛剖面示意图涂层炉横剖面示意图1.1.11.1.1PVDPVD镀膜涂层的微观切片结构镀膜涂层的微观切片结构PVD镀膜涂层在一万四千倍电子显微镜下的图象硬质合金机体,同镀层相比较颗粒比较粗大镀层厚2微米。相比合金基体，晶粒更细、更致密、表面更平整1.2PVD1.2PVD功能镀膜涂层可实现的物理性能功能镀膜涂层可实现的物理性能硬度：硬度：2000Hv~5000Hv2000Hv~5000Hv摩擦係數（相对钢材）：摩擦係數（相对钢材）：0.45→0.150.45→0.15，最低可到，最低可到0.050.05自润滑自润滑超耐磨性超耐磨性表面光洁度高表面光洁度高高化学稳定性高化学稳定性绝缘性好绝缘性好高导热性高导热性与陶瓷类似上述性能一般不能同时具备，应根据需要做权衡取舍1.3PVD1.3PVD镀膜涂层的工业应用镀膜涂层的工业应用大致可分为大致可分为功能镀功能镀与与装饰镀装饰镀两类两类侧重于改善产品的一项或几项特定内在物理性能的涂层侧重于改善产品的一项或几项特定内在物理性能的涂层,,被称为被称为功能涂层功能涂层((工具镀工具镀))研究表明研究表明PVDPVD涂层可以提高这些产品的使用寿命涂层可以提高这些产品的使用寿命33～～1010倍倍不等不等((依产品类别与涂层配方及工艺而不同依产品类别与涂层配方及工艺而不同))。。着重改善提高产品的表面外观与耐磨性能的涂层应用被称做着重改善提高产品的表面外观与耐磨性能的涂层应用被称做装饰装饰镀镀由于目前由于目前PVDPVD工艺对加工工件尺寸的局限，工艺对加工工件尺寸的局限，PVDPVD镀膜（涂镀膜（涂层）工艺首先在工（机）具行业得到推广应用，常见的例子层）工艺首先在工（机）具行业得到推广应用，常见的例子有：有：切削刀具、量刃具、精密模具、汽配零件（齿轮、轴承、切削刀具、量刃具、精密模具、汽配零件（齿轮、轴承、活塞、缸套）、医疗器械等。活塞、缸套）、医疗器械等。1.3.11.3.1功能镀（工具功能镀（工具镀）镀）由于目前由于目前PVDPVD工艺对加工工件尺寸的局限，工艺对加工工件尺寸的局限，PVDPVD镀膜（涂镀膜（涂层）工艺首先在工（机）具行业得到推广应用，常见的例子层）工艺首先在工（机）具行业得到推广应用，常见的例子有：有：切削刀具、量刃具、精密模具、汽配零件（齿轮、轴承、切削刀具...
