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碎片内容
宜昌南玻硅材料有限公司硅片加工项目纯水系统操作说明目录第1章前言
2第2章设备操作维护规范
3第3章单元操作说明
43-3.UF超滤系统
二级逆渗透RO系统
233-10
UV紫外线杀菌机、除TOC机
24第4章异常原因及对策
251第1章前言纯水系统是以活性炭过滤器、超滤系统作为前处理,以目前国际上技术最先进、应用最为可靠的RO逆渗透膜作为二级除盐设备、EDI电化去离子设备,组成了一套完整、高效率、高品质的纯水系统,此系统具有完善、可靠的自动化性能及安全保护和报警功
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