XH-2四探针电阻率测试仪（单晶硅电阻测试仪）使用说明书北京羲和阳光科技发展有限公司2009
31、概述四探针电阻率测试仪（以下简称电阻率测试仪）是用来测量半导体材料（主要是硅单晶、锗单晶、硅片）电阻率，以及扩散层、外延层、ITO导电薄膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器
它主要由电气测量部份（简称：主机）、测试架及四探针头组成
本仪器的特点是主机配置双数字表，在测量电阻率的同时，另一块数字表适时监测全程的电流变化，免除了测量电流/测量电阻率的转换，更及时掌控测量电流
2、测试仪结构及工作原理测试仪主机由主机板、电源板、前面板、后背板、机箱组成
电压表、电流表、四探针头连接插座均装在前面板上
后背板上只装有电源插座、电源开关
测试仪的基本原理仍然是恒流给探针头（1、4探针）提供稳定的测量电流I（由DVM1监测），探针头（2、3）探针测取电位差V（由DVM2测量），由下式即可计算出材料的电阻率：对于厚度≤4mm的样片均可按上式计处
式中：V——DVM1的读数，mV
I——DVM2的读数，mA
W——被测样片的厚度值以cm为单位
F（W/S）——厚度修正系数，数值可查附录二
F（S/D）——直径修正系数，数值可查附录三
Fsp——探针间距修正系数
Ft——温度修正系数，数值可查附录一
由于本机中已有小数点处理环节，因此使用人无需再考虑电流、电压的单位问题
本套仪器使用专用软件进行数据采集,可实现自动换向测量、存储,求平均值，最大值、最小值、最大百分变化率、平均百分变化率等内容
对厚度＞4mm的样片或晶锭，电阻率可按下式计算：ρ=2πSV/I（2）这是大家熟悉的样品厚度和任一探离样品边界的距离均大于4倍探针间距（近似半无穹大的边界条件），无需进行厚度、直接修正的经典公式
此时如用间距S=1mm的探头，电流I选择0
628；用S=1
59mm的探头，电流I选择0
999，即可从本仪器的电
