单晶硅生产废水处理1、什么是单晶硅
单晶硅可以用于二极管级、整流器件级、电路级以及太阳能电池级单晶产品的生产和深加工制造,其后续产品集成电路和半导体分离器件已广泛应用于各个领域,在军事电子设备中也占有重要地位
2、单晶硅生产废水如何产生
单晶硅在生产过程中会产生大量的废水
该废水主要含有硅粉、碳化硅、聚乙二醇、氢氟酸、柠檬酸、洗涤剂及少量的表面活性剂,综合废水COD及SS含量较高、可生化性效果差等特点
3、单晶硅生产废水处理方法简介某单晶硅厂由于引进6英寸单晶硅抛光生产线,该生产线投产后,废水排放量将大大的增加
现有的废水处理站的处理能力已不能满中要求
加之原处理站的处理较果不稳定
因此必须进行治理
因此在原有设施的基础上对废水处理站进行改造
1现废水处理站接纳废水的水质及水量现废水处理站接纳三个部位的废水,经均化调节后进行处理
废水的来源水质
2:废水来源及水质水量废水来源水量(m3/d)水质PHCOD(mg/l)SS(mg/l)多晶硅600<2300100--150切
磨600--86100--150200
抛00有机硅200<3200--300100--150混合后1400--1600<3200--250150--2003
3废水的特点废水产生的部门不同,其特点各异3
1:多晶硅废水:是三氯硅烷还原生成多晶硅过程中产生的尾气经水淋洗产生的
主要反应为:SiHCl3+H2---Si+HCl(产品反应)SiHCl3+H2O---SiO2+HCl(尾气淋洗)废水中主要物质为:SiO2
HCl硅醇及脱水成聚硅氧烷和硅酸,偏硅酸等
废呈强酸性,SiO2的粒径极小,大部分聚成团漂浮的水面
抛废水来自三个工序:(1)切片工序主要为:粘石腊,冷却水等,废水中主要物质为:石腊,硅粉
(2)磨片工序的磨液成分为:洗液和肥皂制成浮液
废水中主要物质为