MSDS 培训(特气部分)VIP免费

——特种气体部分设备运行部：陈波FAB区域各设备所需气体CVD:SiH4、NH3、NF3、N2O、O2、He、Ar、H2RIE:SF6、CL2、O2、Ar、CF4ELA:NE、HCL、XE、O2蒸度:H2N2、O2、ArDryRemove:H2、O2、Ar、He、CF4ALMOAL:Kr、ArCDE:O2、He、CF4IONdoping:ArSPC:ArITO:Ar、O2IP：B2H6易燃、易爆SiH4、NH3、H2、20%PH3/H2、10%B2H6SIH4性状：SIH4为无色有窒息性味道的高压气体，其在空气中的比重为1.2（air=1）。有自燃的特性，其爆炸的范围为1.4%~96%。时量平均容许浓度（TWA）：5PPM毒性：硅烷的毒性为急性、局部性。危险性：在空气中会自燃，爆炸，无需引火点。SIH4若发生泄漏，则可能燃烧或爆炸，其燃烧的副产物，sio2会对眼睛，呼吸道及皮肤产生刺激，仍要避免不必要的接触钢瓶储存温度不可高于125℉(52℃)、热源、明火和火花。可能与空气和氧化剂形成爆炸性混合物。NH3性状：无色，有刺激性恶臭的气体。在适当压力下可液化成液氨，同时放出大量热。当压力减低时，则气化而逸出，同时吸收周围大量热。有毒，空气中最大允许浓度为50ppm。本品易溶于水、乙醇和乙醚，水溶液呈碱性。毒性：不管是在气体状态还是在水溶液状态，都象碱那样起作用。根据浓度的不同，其作用也就不同。其刺激缓慢，到对于鼻、喉、肺、眼的敏感的覆膜产生强烈的刺激。在氨蒸气浓度超过700ppm以上的浓度中受害半小时以上，则眼睛就要引起不治的伤害。如吸入6000～10000ppm的氨污染空气，就会产生急剧的痉孪及喉头炎症等暴卒死去。如泄漏到大气中，即使浓度相当低，也能够通过刺鼻的臭气来检测。由于氨蒸气对水的溶解度很高，所以要刺激湿的皮肤表面。危险性：受到猛烈撞击使钢瓶受到损伤时，气体外逸会危及人畜健康与生命。遇水则变为腐蚀性氨水，受热后瓶内压力增大。空气中氨蒸气浓度达15.7～27.4%时，遇火星会引起燃烧爆炸。有油类存在时，更增加燃烧危险。20%PH3/H2性状：无色气体，剧毒。空气中含有0.01毫克/升时，吸入即中毒。能溶于乙醇、乙醚，微溶于冷水，不溶于热水。极易燃烧。是一种较强的还原剂。平时制得的PH3中因含有少数的二磷化四氢，在空气中能自燃。毒性：急性中毒表现为中枢神经受害，引起厉害的痉挛，并伴有呼吸困难、血压下降、呕吐、腹泻、衰弱和发抖。很多场合与食物中毒症兆相似，常常诊断错误。慢性中毒时，将产生抗胆硷脂酶那样的中枢神经系统反应，并伴有牙痛、下巴浮肿及下颚坏等。征兆有：胸部郁闷、头痛、眼花（发晕）、食欲不振，容易自然骨折、体重减轻、不安以及疲劳、贫血、干渴。在空气中最大允许浓度为0.3ppm。危险性：能自燃，受高热分解放出有毒的PO4气体。遇氧化剂发生强烈反应。遇火种立即燃烧爆炸。灭火时应戴防毒面具H2性状：无色无味的压缩气体。毒性：无毒；只造成窒息、人体会因急速缺氧造成受伤甚至死亡。应该注意超过其空气中爆炸下限（既浓度超过４％），会造成缺氧及爆炸性的危害。中等浓度吸入造成晕眩、头痛、反胃、呕吐、意识不清。危险性：燃烧时发出肉眼难见的淡蓝色火焰，氢气极仪易点燃，即使是静电火花也会产生燃烧爆炸。曝露于高热或火焰时，钢瓶内压力会上升，大部分的钢瓶皆被设计可由钢瓶阀的破裂片释放高压气体。如果破裂片失效，可能导致爆炸。。毒性、腐蚀性CL2、HCL、NH3、NF3、10%B2H6、20%PH3/H2CL2性状：黄绿色有刺激性气体。液化后为黄绿色透明液体。有剧毒，空气中最大容许浓度为1ppm。易溶于水和碱溶液。常温时加压到6-8大气压或在大气压下冷至-35℃～40℃可液化。危险性：在日光下与易燃气体混合时会发生燃烧爆炸。气体外泄时会使人畜中毒，甚至死亡。对支气管及肺脏有刺激作用，并导致支气管炎、肺气肿、肺炎等严重疾病。受高热时瓶内压力增大，危险性增加，本身虽不燃，但有助燃性。HCL性状:是腐蚀性气体,易溶解于水、乙醇、乙醚，能和多数金属反应，生成氯化物和氢气，与氟起激烈反应。空气中容许浓度为5ppm。毒性：如吸入就要刺激眼、气管、喉、鼻的粘膜并咳嗽。在35ppm中被侵害不久，就刺激喉咙；到了50～100ppm浓度时，还能忍耐1小时；在350ppm浓度时，浸害10分钟，喉及...