3提拉法生长工艺1提拉法生长设备介绍2提拉法生长工艺介绍3提拉法生长晶体实例-稀土镓石榴石4提拉法生长晶体实例-蓝宝石提拉晶体界面翻转的控制5提拉法生长晶体实例-单晶硅的缩颈工艺6提拉法生长晶体缺陷的形成与控制7提拉法生长宝石晶体的鉴别8几种宝石鉴别提拉法生长仿祖母绿合成品提拉法生长无色蓝宝石1提拉法生长设备介绍YAG生长设备1
保温加热系统3
坩锅传动系统气氛控制系统2
后热器后热器的主要作用是调节晶体和熔体之间的温度梯度
•2提拉法生长工艺a生长过程
b直径自动控制
(ADC技术)c材料挥发的控制
d温场的选择与控制
e生长速率的控制
•3提拉法生长晶体实例-稀土镓石榴石(GGG)a生长过程b直径自动控制(ADC)LlL晶体等径生长时对应的弯月面角为:当时,直径扩大;反之,缩小
0LL的大小取决与材料的性质,不为的意味着晶体与熔体之间是非完全浸润的
弯月面光反射法:back•c材料挥发的控制•高温下材料的挥发,改变了熔体的化学配比,造成熔体某成分的过剩,组分过冷的改变等一系列影响
因此,人们发展了液相覆盖技术和高压单晶炉
•覆盖物质应具有以下性质:密度小于熔体的密度,透明,对熔体、坩埚和气氛是化学惰性的,能够浸润晶体、熔体和坩埚,并具有较大的粘度
目前,最好的覆盖物质是熔融的B2O3back•d温场的选择与控制为克服组分过冷,需要有大的温度梯度;为防止开裂、应力和降低位错密度,需要小的温度梯度
因此,所谓合适的温场没有一个严格的判据
一般来说,对于掺质的需要大的温度梯度(特别是界面处);而不掺质的或者容易开裂的,采用小的温度梯度
因此,合适的温场的选择和控制,只能根据材料特性作出初步判断,通过实验加以解决
加大温度梯度方法:缩小熔体和熔体上方空间的距离(轴向距离)减小温度梯度的方法:采用适当的后热器back•e生长速率的控制•提拉速度不能超过临界值,该