冷氢化操作规程一、工艺流程1 岗位流程将经过干燥的硅粉、催化剂( 氯化铜 ) 和受热汽化混合的气体 ( 四氯化硅、氯气、氯化氢 ) 按照规定的摩尔比进入氢化反应炉(R3101) 内, 在汽化固流化床的条件下, 反应生成三氯氢硅气体 ; 工艺气体经过多级的除尘除杂、冷凝、分离、冷却过程后, 废渣料进入四氯化硅蒸化罐分离四氯化硅, 废料进入淋洗处理 , 冷却气体进入压缩机升压再次进入汽化混合工序, 液化 ( 四氯化硅、三氯氢硅和二氯二氢硅) 输送进入精馏、精馏工序提纯至满足要求后, 三氯氢硅送还原工序使用 , 四氯化硅再次送入汽化混合工序循环使用 , 少量的二氯二氢硅进入反歧化装置; 从装置过滤、沉降、解析等装置收集的废气进入尾气淋洗塔处理, 渣浆进入液体淋洗塔处理。2 工艺流程简介首先将 40-120 目的工艺硅粉人工加入烘粉炉(E3108) 蒸汽进行干燥 , 烘粉炉加入量 5 吨/ 批次 , 并通过氮气电加热器 (E3107) 置换、干燥硅粉 , 干燥器温度 200℃,时间 8 小时除尽空气、水分后 , 向硅粉接受罐 (V3106) 、计量罐 (V3107) 进料。将 40-120 目的催化剂 ( 氯化铜 ) 人工加入催化剂接受罐 (V3108) 进行氮气置换除尽空气、水分后 , 以氢气置换氮气氛围合格, 根据硅粉进料而向计量罐 (V3107) 进料( 硅粉与催化剂混合加入的质量比为100:2 或 100:1); 外界氢气进入压缩机 (C3101→C3102)气体压缩机增压至3.2MPa左右 , 由外界四氯化硅进入四氯化硅缓冲罐(V3101) 增压输送至四氯化硅预热器(E3101), 氢气和四氯化硅的加入摩尔比为2:1 左右, 预热后的氢气与四氯化硅进入按照规定的比例经过静态混合器(M3101)混合后进入四氯化硅汽化器混合, 混合后的气体 ( 四氯化硅、氢气、氯化氢) 四氯化硅过热器继续汽化混合后, 混合气进入电加热器升温至 550℃左右。预先将压缩氢气通入氢化炉内并注入一定的硅粉、催化剂底料, 建立流化床之后, 将四氯化硅与氢气混合气通入氢化炉流化床(R3101) 内, 在 530- 590℃、 2.2-2.9MPa左右的气固流化床条件下 , 反应生成三氯氢硅气体。工艺气体经过旋风分离器(S3102) 、文丘里洗涤器 (M3102)、分离罐粗馏(V3110) 、洗涤塔 (T3101) 除尽粉尘和高沸点金属氯合物, 沉寂下来的渣料采至残夜蒸发罐 (V3114) 内置搅拌器 (M3103)增加流动性 , 经过残夜蒸发罐蒸发一部分四氯化硅进过重组分冷凝器 (E3114) 冷凝, 重组分储罐 (V3115) 收...
