“浙江师范大学---LED 芯片研发中心”超净室设备采购清单序号项目名称设备、材质及工程技术要求性能要求主要技术指标1气体供应 及防护系统一、总体功能描述：气体供应及防护系统是为 PECVD 和 TCP 设备安全供应气体，保证 PECVD 和 TCP 设备的正常使用，对工艺尾气作处理，并实现远程监控与报警。二、需供气体及要求1.TCP 刻蚀设备需供气体及要求a. Cl2：气压：1 kg/cm2，最大流量：100 sccm，纯度：4N管径：1/4" VCR Male，管材：SUS316b. BCl3：气压：1 kg/cm2，最大流量：100 sccm，純度：4N管径：1/4" VCR Male，管材：SUS316c. He：气压：1 kg/cm2，最大流量：30 sccm，純度：4NCHF3：气压：1 kg/cm2，最大流量：500 sccm，純度：4N管徑：1/4" VCR Male，管材：SUS316d. Ar，N2，O2：气压：1 kg/cm2，最大流量：200 sccm，純度：4N管径：1/4" VCR Male，管材：SUS3162. PECVD 设备需供气体及要求a. SiH4气压：1 kg/cm2，最大流量 500 sccm,管徑：1/4"VCR Male，管材：SUS316，純度 5%SiH4,95%N2b. N2O气压：1 kg/cm2，最大流量 500 sccm管徑：1/4" VCR Male，管材：SUS316，純度 4Nc. CF4/O2气压：1 kg/cm2，最大流量 500 sccm,管徑：1/4"VCR Male，管材：SUS316，純度 CF4 80%,O2 20%d. NH3气压：1 kg/cm2，最大流量 200 sccm管徑：1/4" VCR Male，管材：SUS316，純度 4N防漏、防爆、自动保护处理1.自动检测气体是否泄漏；2.自动警示气体泄漏；3.自动消除泄漏气体。4.SiH4 的检测范围为 0～20ppm，一 段 报 警 值 为2.5ppm，二段报警值为 5ppm；5.Cl2 的 检 测 范 围为 0 ～ 2ppb, 一段 报 警 值 为0.25ppm ，二段报警值为0.5ppm。6.NH3 的检测范围为0～100ppm ， 一 段报警值为12.5ppm ，二段报警值为25ppm。7. 当气体房侦测器达 到 一 段 预 警时，气体房中相应的报警灯红灯闪烁，蜂鸣器启动，同时关闭相应的气柜。通过图控软件隔离按钮可以隔离报警信号的输出。e. O2气压：1 kg/cm2，最大流量 500 sccm管徑：1/4" VCR Male，管材：SUS316，純度 4Nf. PN2气压：1 kg/cm2，最大流量 500 sccm管徑：1/4" VCR Male，管材：SUS316，純度 4N3.气源a. ＃1 Room：SiH4、NH3 放置于＃1 Room 气体房内。设备采用单钢瓶工艺供气系统，吹扫所使用高纯氮气接自惰性气体房工艺氮气面板，普通氮气接氮气罐。气瓶柜采用半自动控制型...
